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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計(jì)流速儀/測漏儀>氣體流量計(jì)>MFC330-05E 氣體質(zhì)量流量控制器

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MFC330-05E 氣體質(zhì)量流量控制器

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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愛拓利精準(zhǔn)流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電 子設(shè)備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成 。總部蘇州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào)半導(dǎo)體智能 制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年,位于無錫新吳區(qū)清源路20號(hào)大學(xué)科技園 。愛拓利精準(zhǔn)流量測控AITOLY INSTRUMENTS,專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測量與控制 。 愛拓利擁有自己的研發(fā)團(tuán)隊(duì),具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、結(jié) 構(gòu)、硬件和軟件等研發(fā)能力,是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企 業(yè) , 更是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計(jì)及流量控制器核心部件( 高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥 )的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛拓利質(zhì)量流量計(jì)及控 制器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光 伏、真空鍍膜、生命科學(xué)、燃料電池、精度分析儀器 、石化、制氣 、醫(yī)療 、食品 、工業(yè)自動(dòng)化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時(shí),愛拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì)。愛拓利有一套嚴(yán)謹(jǐn)科學(xué)的檢測標(biāo)準(zhǔn)和質(zhì)量控制體系,并通過了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。通過標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn),規(guī)范化管理 ,愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)積淀,愛拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器。支持多種通訊協(xié)議,氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高 、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定 。

氣體流量計(jì)

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價(jià)格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

MFC330-05E氣體質(zhì)量流量控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330-05E氣體質(zhì)量流量控制器依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

氣體質(zhì)量流量控制器

MFC330工作原理:

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大:0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案


主要參數(shù):
介質(zhì)要求
潔凈干燥氣體
氣體種類
98+氣體可選
量程
0-2,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
測量范圍
0.5%F.S.(1:200)
控制范圍
1%-100% FS.(1:100)
準(zhǔn)確度
標(biāo)準(zhǔn):±1% F.S.
高精度
±0.5%
重復(fù)精度
±0.2%F.S.
線性度
±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時(shí)間
<3 秒
預(yù)熱時(shí)間
5 min(T95),30 分鐘最佳
閥門
常閉式
泄漏率
1*10-11Pa.m3/sec He


機(jī)械特性
最大工作壓力
3 MPa(30bar)
工作壓差范圍
0-1 MPa
工作溫度范圍
-20~65℃(環(huán)境和氣體)
溫度范圍
0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型
卡套、VCR、快插、快擰(可選)
氣體接觸材質(zhì)
氟橡膠、304/316不銹鋼
密封材質(zhì)
氟橡膠 FKM
防護(hù)等級
IP40
安裝方式
水平安裝方向校準(zhǔn)
固定孔
M4 ↓ 5mm
重量
0.96kg
電氣和通訊
電氣連接接口類型
DB-9 公頭
模擬信號(hào)
0 - 5 VDC,4 - 20 mA(可定制)
輸入輸出阻抗
輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ
模擬數(shù)據(jù)更新頻率
200Hz
數(shù)字信號(hào)
Modbus RTU (RS232, RS485), CAN
通信速率
9600(默認(rèn)),14400,19200,38400,56000,57600,115200 bps(用戶可修改)
電源
15-40 VDC,<200 mA
顯示更新頻率
50Hz
模擬信號(hào)精度
±0.05%F.S.
特征
標(biāo)況
20℃,1 atm
氣體選擇
可選,具體參考說明書氣體系數(shù)
軟件
Aitoly分階流量軟件
尺寸:
滿量程深度ABCDE重量
2 sccm~50 slpm125.00 mm76.00 mm32.00 mm64.00 mm17.80 mm7.00 mm6.00 mmM4 ↓ 5 mm≈0.96 kg
4.921 in2.992 in1.260 in2.520 in0.701 in0.276 in0.236 inM4 ↓ 0.197 in≈2.1 lb
100 sccm~500 slpm138 mm82 mm38 mm62 mm30 mm10 mm10 mmM4 ↓ 8 mm≈1.3 kg
5.43 in3.221.4962.2201.1810.3930.393 inM4 ↓ 0.31 in≈2.88 lb

產(chǎn)品選型:
氣體質(zhì)量流量控制器




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