KAKUHUNTER寫真化學 測繪膜自動薄膜厚儀

KAKUHUNTER寫真化學 測繪膜自動薄膜厚儀

特征

測繪膜厚儀能夠自動測繪晶圓整個表面的膜厚，最大可達300毫米。自動對準功能和高度平坦的晶圓吸盤可實現高度可靠的膜厚測量。 另外，通過設置在半導體制造裝置的裝載口，可以在保持清潔度的同時管理制造裝置上的膜厚。

1可對最大 300mm 的晶圓進行全表面自動薄膜厚度測繪

2自動對位功能

3通過使用具有高平坦度的晶圓卡盤，提高了晶圓平面內的測量可靠性

通過自動檢測缺口和定向平面位置以及自動檢測晶圓偏心，實現高精度測量。

4可以根據應用選擇三種類型的光源

5透明蓋使測量過程中的運動一目了然

6一體化設計節省空間

測量數據示例（2D膜厚分布）

貼合晶圓的硅厚度（nm）

測量數據示例（3D膜厚分布）

貼合晶圓的硅厚度（nm）

測量數據示例（膜厚頻率分布）

貼合晶圓的硅厚度

測量數據示例（多個晶圓的膜厚分布箱線圖）

5個晶圓的膜厚分布趨勢

代理品牌：CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮

HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等

優勢產品：日本紫外線照度計、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測燈

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