KAKUHUNTER寫真化學 多孔薄膜膜厚監測儀 

KAKUHUNTER寫真化學 多孔薄膜膜厚監測儀 

反射式膜厚監測儀是一種反射分光式膜厚計，采用小型反射探頭并采用光學干涉測量法，可應用于從實驗室水平到生產過程中在線100%檢查的所有情況。它具有出色的可維護性，可以集成到工藝設備中或用于生產線管理目的。

最多可同時測量 9 種透明薄膜。

它具有出色的可維護性，可以集成到工藝設備中或用于生產線管理目的。

例如，它可以用作成膜、拋光和蝕刻過程中的在線監控器或終點監控器（終點檢測傳感器），并可以實時監控膜厚。它

還可用于評價多晶硅的結晶度和多孔薄膜的密度。

  通過使用高度為30毫米的小型探頭，可以安裝在設備內部的狹小空間內。

使用有效介質近似（EMA）法計算混合層的混合比并測定結晶度

光學常數分析

操作示例 1：Endpoint Monitor 演示 1

操作示例 2：Endpoint Monitor 演示 2

推薦環境條件

溫度：設定點在18至45℃范圍內 

長期變化：±2.0℃/24小時以上（標準設定值） 

短期變化：±1.0℃/1小時x 1個周期（參考設定點） 

濕度：45%±20%（無凝露） 

代理品牌：CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮

HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等

優勢產品：日本紫外線照度計、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測燈

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