簡單介紹:
防腐蝕勻膠機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。工作時利用真空吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可存儲12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設備轉數不同,使設備緩慢提升速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費,節約材料。腔室的上蓋可以對樣品進行加熱,有利于粘度大的薄膜材料的涂覆過程的進行。具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優點,主要應用于個大專院校、科研所的實驗室中進行薄膜的生成過程。
防腐蝕勻膠機主要特點:
1.表殼和旋轉盤由聚丙烯(PP)制成,可抵抗大部分腐蝕性溶液。
2.數字控制箱與旋涂機分開。
3.標配一個過濾器。它用于連接泵和涂布機,以防止廢水流入泵。
4.標配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺,防止飛片。
5.帶真空和蓋子開關互鎖功能,確保操作穩定。
6.內腔直徑150mm,PP防腐真空吸盤Φ100mm,可處理碎片(小于1cm)至6英寸圓晶底物。
7.數字控制面板,帶有6個可編程段,可實現不同的旋轉時間和速度。
8.電機啟動快速穩定,可以保證圖層厚度的一致性和均勻性。
技術參數:
項目 | 明細 | |
旋涂儀 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
轉速 | 0~10000rpm | |
加速度 | 100~5000rpm/s | |
轉速分辨率 | 1rpm | |
單步時間 | 3000s | |
基片尺寸 | 直徑≤8英寸(200mm) | |
腔體材質 | 聚四氟 | |
操作方式 | 7寸高清LCD觸控屏 | |
滴膠方式 | 手動滴膠,可選購精密注射泵 | |
勻膠曲線 | 每條曲線5段,共可儲存5條曲線 | |
抽氣接口 | φ8mm 快擰接口 | |
整機尺寸 | 290mm×365mm×310mm | |
整機重量 | 12kg | |
排氣系統 | 真空泵 | 干式機械泵 |
抽氣速率 | 50L/min | |
供電電源 | AC220V 50/60Hz |
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