172nm準分子燈設備將化學上結合產生不了分子的疝氣等稀有氣體封在石英里，施加電壓進行放電，原子激化與其他原子結合產生分子。

E + Xe → e + Xe*Xe* + Xe + Xe → Xe2* + Xe被激發出來的的激元分子(Xe2*)回到原本的狀態(基底)時發出172nm単一波長的紫外光。172nm光子能量比大多數的物質分子結合能量要大。出現光子能量比分子結合力大的時候，僅通過光子的作用就能切斷分子。

172nm準分子燈設備特點為：瞬間點燈、滅燈、不使用水銀無需點燈穩定期、就可以瞬間點燈和滅燈是不使用水銀的環保型UV燈●低溫處理不會產生其它波長的光，工件溫度幾乎不會升高●高光能量172nm?166kcal/mol.?7.2eV的高光能可以短時間內進行表面改質●無損傷通過光子的作用分解分子結合，不會產生像電暈處理和等離子處理的顆粒和粉塵。基本不會對對基材放電，不會產生物理上的損傷。

有效長 150～1700mm以上 1根～數根根據必要的有效長度、數量，可以1cm為單位長度制作●照度控制功能燈的各燈的照度分開控制功能。●照射面一側沒有電極，無電極構造燈座兼有外部電極，不需要通常燈照射面上必要的網眼和格子狀電極。不會有光的遮擋、損失、衰減同時也不會出現隨著使用時間而產生照度低下的問題●不需要氮氣即使沒有氮氣也可以處理。使用氮氣時時通過燈座縫隙噴射氮氣，可以大幅削減使用量●RF放電方式 沒有閃爍的超高照度燈管70mW/c㎡, 120mW/c㎡, 170mW/c㎡以上也有超過200mW/c㎡的超高照度燈