MM3E 位置編碼的微納操縱儀
- 公司名稱 上海溪拓科學儀器有限公司
- 品牌 德國Kleindiek
- 型號 MM3E
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/1/16 15:33:07
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Kleindiek微納米操縱儀，Kleindiek Nanoprobing系統，Rumed蛋白結晶生長箱，Trikinetics 果蠅行為監測系統，MRC 核磁兼容相機，MRC Pinprick痛覺刺激器，英國BFK 果蠅視頻監控系統，
位置編碼的微納操縱儀MM3E以MM3A-EM微納米操縱儀為基礎，具有MM3A-EM相同的緊湊性、精確性和穩定性。同時，MM3E具有閉環位置反饋功能（closed-loop positional feedback），該功能提高微納米操縱儀的易用性。一鍵定位MM3E的探針到工作（Working）和停留（Parking）位置。
MM3E與市場上幾乎所有的SEM或FIB/SEM兼容。它配備了一個直觀的拖放式（drag&drop-style）控制軟件，可方便地在SEM或FIB/SEM工具內定位探針。
軟件可執行坐標變換，使MM3E以笛卡爾坐標系工作，其重現性僅為幾微米。利用可選的帶編碼的旋轉軸，樣品可在工作位置進行同心旋轉（compucentrically）。
位置編碼的微納操縱儀產品特點：
配有模塊化組件和一系列插件工具的即插即用系統
適用于大多數SEM/FIB的接口解決方案
輕松使用多個機械手
結構緊湊，可實現更高的共振頻率
幾乎不受振動影響
快速手動預定位
寬大的工作范圍（100cm3）
技術參數：
X/Y分辨率：0.5nm
Z分辨率：0.02nm
R軸分辨率：0.5e-6°
XYZ重復性：<2µm
R軸重復性：<0.02°
漂移：<1nm/min
同心旋轉同心度~30µm
應用：
原位提取（In-situ lift-out）
納米探測（NanoProbing）
微納操縱（NanoManipulation）
Compucentric rotation within a field of view of 30 µm
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