MM3E 以 MM3A-EM微納米操縱儀為基礎，具有MM3A-EM 相同的緊湊性、精確性和穩(wěn)定性。同時，MM3E具有閉環(huán)位置反饋功能（closed-loop positional feedback），該功能提高微納米操縱儀的易用性。一鍵定位MM3E的探針到工作（Working）和停留（Parking）位置。

MM3E 與市場上幾乎所有的 SEM 或 FIB/SEM 兼容。它配備了一個直觀的拖放式（drag&drop-style）控制軟件，可方便地在 SEM 或 FIB/SEM 工具內定位探針。

軟件可執(zhí)行坐標變換，使 MM3E 以笛卡爾坐標系工作，其重現(xiàn)性僅為幾微米。利用可選的帶編碼的旋轉軸，樣品可在工作位置進行同心旋轉（compucentrically）。

產品特點

配有模塊化組件和一系列插件工具的即插即用系統(tǒng)

適用于大多數 SEM/FIB 的接口解決方案

輕松使用多個機械手

結構緊湊，可實現(xiàn)更高的共振頻率

幾乎不受振動影響

快速手動預定位

寬大的工作范圍（100 cm3）

技術參數

X/Y 分辨率：0.5nm

Z分辨率：0.02nm

R軸分辨率：0.5e-6°

XYZ重復性： < 2 µm

R軸重復性： < 0.02°

漂移：< 1 nm/min

同心旋轉同心度 ~30 µm

應用

原位提取（In-situ lift-out）

納米探測（NanoProbing）

微納操縱（NanoManipulation）

Compucentric rotation within a field of view of 30 µm