產地類別 | 國產 | 應用領域 | 能源,電子,電氣,綜合 |
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中圖儀器CEM3000系列國產臺式電鏡空間分辨率出色和易用性強,用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下,無需過多人工調節,便可一鍵得到理想的拍攝圖片。CEM3000系列上還運用了快速抽放氣設計,讓用戶在使用時不再等待,且全系列可選配低真空系統,以便精準調節樣品倉內真空度,滿足不同樣品的觀測需求。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調節。
2.超高分辨率優于4nm(SE),優于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級別景深,具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現四分窗同時掃描成像。
5.抗振性能優異。
不同于立式電鏡,CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術,展現出色的性能。
產品功能
1)臺式電鏡緊湊的外型,CEM3000系列臺式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求,輕松移機,一臺機器多處開花;
2)高分辨率,能夠對微尺寸特征進行觀測分析,滿足用戶的觀測需求;
3)快速抽放氣,憑借真空系統設計,該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間;
4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動調節功能,無需過多人工操作,就可得到高質量拍攝圖片;
5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術,基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;
7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測;
8)能夠提供多種成像參數供用戶選擇,滿足專業用戶的調節需求;
9)搭配有多種探頭,能夠對樣品進行多種手段的分析。
應用領域
該電鏡外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設計,避免使用環境造成的影響,拓寬了應用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節功能,能夠對不同類型的樣品進行觀測,具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進行分析。
應用范例:
產品型號
CEM3000系列共涵蓋CEM3000A(大樣品倉型)和CEM3000B(抗振型)兩款強化機型,CEM3000A在不改變整機外觀尺寸的情況下,拓展了樣品倉尺寸,從而可對大尺寸樣品或多個常規尺寸樣品進行分析。同時,用戶也可選擇加裝有減振倉的CEM3000B,確保在縮短抽放氣時間的同時,消除環境振動對電鏡的影響,保證了高倍數成像時的圖像質量。
此外,該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學、生命科學、納米技術、能源等多個領域得到了廣泛應用。CEM3000系列國產臺式電鏡根據特定行業的需求,定制了自動化的顆粒度統計、孔隙率測量等選配功能。還可根據用戶需求提供全自動軟件定服務。
部分技術指標
型號 | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優于4nm(SE),優于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配:顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統 | 真空度 | 高真空:優于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X,Y,T |
手動軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動旋轉、電子束旋轉) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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