恒歌半導(dǎo)體工藝氣體IGS面板專用過濾器
- 公司名稱 深圳市恒歌科技有限公司
- 品牌恒歌
- 型號
- 所在地深圳市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2024/11/11 18:11:09
- 訪問次數(shù) 87
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供貨周期 | 一周 | 貨號 | hk202353101 |
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主要用途 | 氣液過濾 | 材質(zhì) | 不銹鋼 |
特性 | 耐高溫、耐腐蝕、易清洗 | 工作溫度 | 600℃ |
定制 | 來圖打樣 |
用于半導(dǎo)體應(yīng)用IGS面板專用過濾器
產(chǎn)品介紹
IGS面板專用過濾器,用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī) 格,實(shí)現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升 級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊體型融合全焊接與機(jī)械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的 表面安裝元件,便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計(jì)升級,安裝維護(hù)便捷高效。
產(chǎn)品特點(diǎn)
?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),可快速排氣
?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微粒混入,幫助提高產(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)