ESMFM-610 皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置，采用高靈敏度紅外光電管采樣、精密電路控制、微電腦處理、觸摸屏操控及顯示、多通道測量，顯示直觀、操控方便、數(shù)據(jù)準(zhǔn)確、測量范圍大并可保存多達(dá)10W 條以上黑歷史測量數(shù)據(jù)。該儀器廣泛用于小氣體流量的測量及泄漏率的檢測。高配置款內(nèi)置4 路高精度、高控制穩(wěn)定性的氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），為測量提供高精度、高穩(wěn)定性的氣體輸出，使測量更加精度、便捷。

l 多通道測量，可根據(jù)不同的測量量程選擇適合的測量通道，大大提高氣體流量的測量范圍及測量精度，測量通道切換簡便。

l 采樣準(zhǔn)確：采用高速、高靈敏度紅外傳感器采樣，高運算能力芯片控制計時，使采樣時間準(zhǔn)確，從而避免因人工讀數(shù)造成的誤差，大大提高儀器的整機精度

l 實時溫度、壓力測量及轉(zhuǎn)換：高精度的溫度及壓力傳感器，實時、準(zhǔn)確的對待測氣體進(jìn)行溫度和壓力的測量，將測量的工況流量同步計算轉(zhuǎn)換成需要的標(biāo)況流量值 。

l 智能處理及控制：自動識別測量通道，各通道獨立顯示標(biāo)況流量值，標(biāo)況溫度可選；自動統(tǒng)計處理及記錄測量數(shù)據(jù)（平均值，RSD）

l 內(nèi)置 4 路MFC氣體質(zhì)量流量控制器，為高精度的氣體流量測量控制穩(wěn)定的氣流，使測量更精度、便捷。  

l 大屏幕顯示，操作簡潔便捷。

應(yīng)用場景                                                        

? 氣體采樣器流量校正

? 煙道監(jiān)測儀器流量校正

? 實驗室分析儀器載氣流量校正

? 測試儀器氣體流量校正

? 氣體流量測量計校正

? 工件泄漏率檢測

主要性能及參數(shù)

l 測量流量范圍：

通道一：0.05~30 mL/min

通道二：20~1000 mL/min

通道三：600~6000mL/min

l 測量流量精度等級：0.5 級

l 4路質(zhì)量流量控制器范圍及精度：

氣路 1：量程50sccm，精度：0.01sccm  

氣路 2：量程300sccm，精度：0.1sccm

氣路 3：量程1000sccm，精度：0.1sccm

氣路 4：量程6000sccm，精度：1sccm

l 環(huán)境溫度：5~45℃

l 相對濕度：85%

l 供電電源：220VAC

l 適用環(huán)境：非防爆場所