| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子,制藥,電氣 |
愛拓利電子設備有限公司是一家擁有自主研發能力的生產銷售于一體的專注微小氣體質量流量控制器廠家，現在公司主推MFC330和MFC300兩個系列熱式氣體質量流量計MFM，流量控制器MFC。
MFM330 系列氣體質量流量計技術參數
2 sccm – 500 slpm 滿量程
主要參數 SENSOR PERFORMANCE | |
介質要求 Applicable media | 潔凈干燥無氣體 Clean, dry gases |
氣體種類 Gas type | 98+氣體可選 Available for 98 types of gas |
量程 Full scale（N2 equivalent） | 0-5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50 slpm |
測量范圍Measurement range | 0.5%-100 % F.S. |
準確度 Accuracy | ±0.5% F.S. |
重復精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
線性度Linearity | ±0.2% F.S. |
分辨率 Resolution ratio | 0.001 sccm (<10L/min), 1sccm(10-50L/min) |
傳感器響應時間 Sensor response time | <1s |
預熱時間 Warm-up time | 5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy |
泄露率 Leak integrity | 1*10-11 Pa·m3/sec He |
機械特性 MECHANICAL | |
工作壓力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar） |
工作溫度范圍Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (環境和氣體 ambient and gas) |
濕度范圍 Relative humidity range | 0 - 98% 無凝露 No-condensing |
氣路接頭類型Process connections | 快插、快擰、卡套、 VCR （可選） (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
氣體接觸材質Wetted Materials | 氟橡膠、316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材質 Seals | 氟橡膠 FKM |
防護等級 Ingress protection (housing) | IP40 |
安裝方式 Mounting | 水平安裝方向校準 Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes |
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重量 Weight | 0.82 kg |
電氣和通訊 COMMUNICATIONS | |
電氣連接接口類型Electrical connection | DB – 9公頭 (Male) |
模擬信號 Analog input and output options | 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA （可定制） |
輸入輸出阻抗 Impedance resistance | 輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ |
模擬數據更新頻率Analog data update rate | 200Hz |
數字信號 Digital input and output options | Modbu RTU (RS232, RS485), CAN (CAN) |
通信速率 Digital data update rate | 9600(default), 14400, 19200, 38400, （可修改） |
電源 Power requirements | 15 – 40 VDC,<200 mA |
顯示更新頻率Display update rate | 50Hz |
模擬信號精度 Analog signal accuracy | ± 0.05%F.S. |
特征 FEATURES | |
標況 STP reference conditions | 20℃ and 1 atm |
氣體選擇Gas Select | 98種氣體可選，具體參考說明書氣體系數 98 user selectable gases stored internally, refer to the Gas Correction Factors |
軟件Software | Aitoly 分階流量軟件 |
尺寸 DIMENSIONS | Weight | ||||||||
Full scale flow | Height | Width | Depth | A | B | C | D | E | 重 量 |
5 sccm~50 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm |
| ≈0.82 kg |
4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in |
| ≈2.1 lb | |
100slpm-500slpm | 138mm | 82mm | 38mm | 62mm | 30mm | 4mm | 10mm |
| 1kg |
5.43in | 3.22in | 1.496in | 2.440in | 1.181in | 0.157in | 0.393in |
| 2.21lb | |
MFM330氣體質量流量計（以下簡稱MFM330），主要用于對氣體的質量流量進行精確測量。采用優質的核心部件、高性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量測量更加精準、穩定和簡便，內置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值外，進一步對氣體流量測量進行溫壓補償；支持多種通訊協議，可以方便高效的與電腦、PLC、工業觸摸屏、單片機等進行通訊；具有多氣體測量，高精度，高穩定性，極低零漂等特性。
愛拓利具有高水平的產品設計、結構、硬件和軟件研發水平， 擁有自主知識產權的氣體質量流量計及控制器核心部件（高精度氣體質量流量傳感器和高穩定性微型比例閥、全金屬密封比例閥）及生產設備，是國內少數能夠全面自主研發生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業之一。“以關鍵技術自主研發為核心使命、以市場為導向”，愛拓利致力于為用戶提供精準、穩定、可靠的標準化產品、定制化服務和解決方案。
愛 拓 利 精 準 流 量 測 控 AITOLY INSTRUMENTS由蘇 州 愛 拓 利 電 子 設 備 有 限 公 司 及 無 錫 愛 拓 利 電 子 科 技 有 限 公 司 組 成 。 總 部 蘇 州 愛 拓 利 位 于 蘇 州 市 吳 江 區 柳 胥 路 9 9 號 半 導 體 智 能 制 造 創 新 港 。 分 公 司 無 錫 愛 拓 利 成 立 于 2017 年 ， 位 于 無 錫 新 吳 區 清 源 路 20號大 學 科 技 園 。 愛 拓 利 精 準 流 量 測 控 AITOLY INSTRUMENTS，專業從 事 氣 體 質 量 流 量 測 量 與 控 制 。 愛 拓 利 擁 有 自 己 的 研 發 團 隊 ， 具 有 高 水 平 的 產 品 設 計 、 結 構 、 硬 件 和 軟 件 等 研 發 能 力 ， 是 國 內 少 數 能 夠 自 主 研 發 生 產 高 精 度 氣 體 質 量 流 量 計 和 氣 體 質 量 流 量 控 制 器 的 企 業 ， 更 是 國 內 極 少 數 能 夠 自 主 研 發 生 產 氣 體 流 量 計 及 流 量 控 制 器 核 心 部 件 （ 高 精 度 氣 體 流 量 傳 感 器 和 高 穩 定 性 微 型 比 例 閥 ） 的 氣 體 流 量 控 制 產 品 生 產 廠 家 . 愛 拓 利 質 量 流 量 計 及 控 制 器 被 廣 泛 應 用 于 半 導 體 、 光 伏 、 真 空 鍍 膜 、 生 命 科 學 、 燃 料 電 池 、 精 度 分 析 儀 器 、 石 化 、 制 氣 、 醫 療 、 食 品 、 工 業 自 動 化 控 制 等 行 業 。 在 不 斷 追 求 創 新 和 突 破 的 同 時 ， 愛 拓 利 十 分 注 重 產 品 品 質 。 愛 拓 利 有 一 套 嚴 謹 科 學 的 檢 測 標 準 和 質 量 控 制 體 系 ， 并 通 過 了 ISO9001質量體系認證 。 通 過 標 準 化 生 產 ， 規 范 化 管 理 ， 愛 拓 利 持 續 穩 定 地 向 顧 客 提 供 高 質 量 的 合 格 產 品 。 通 過 多 年 的 研 發 、 生 產 和 應 用 經 驗 積 淀 ， 愛 拓 利 先 后 推 出 了 多 款 氣 體 質 量 流 量 計 和 控 制 器 。 支 持 多 種 通 訊 協 議 ， 氣 體 種 類 覆 蓋 面 廣 、 控 制 及 測 量 精 度 高 、 響 應 速 度 快 、 性 能 穩 定 。
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