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化工儀器網>產品展廳>行業專用儀器及設備>其它行業專用儀器>化學/化工> 日本 Certas Leaga 化學氣體刻蝕系統

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日本 Certas Leaga 化學氣體刻蝕系統

參考價 780000
訂貨量 ≥1
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本公司主要從事半導體進口設備及輔助材料、醫療檢測設備等多領域的銷售,是一家集研發、制造、銷售為一體的企業。我們的主營業務涉及了研發銷售及加工材料及周邊產品;電子光電產品設備研發組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內貿易、貨物及技術進出口;醫療器械研發及銷售;醫用耗材及醫療用品的銷售等

化學氣體刻蝕系統 Certas Leaga



Certas LEAGA是一種率的系統,除了Certas WING的基本性能之外,還可以滿足單個平臺上的多個流程需求。針對當前和下一代設備的大量生產,LEAGA具有易于配置的主機,可以進行優化,以匹配所需的應用程序。擴展了Certas系列的工藝技術,現在可以控制多種類型氧化硅薄膜中的蝕刻選擇性,從非選擇性到高度選擇性,為從大批量生產到下一個廣泛應用的關鍵接口提供控制一代發展。

特征
的干氣去除選擇性范圍廣的選擇氧化膜

集群雙晶圓腔室設計提供靈活的模塊配置

應用
二氧化硅膜去除和回蝕

在硅接觸之前進行預清潔



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