產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
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價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
應用領域 | 環保,生物產業,能源,制藥,電氣 |
氣體種類 Gas type | 98+氣體可選 Available for 98+ types of gas |
量程 Full Scale(N2 equivalent) | 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm |
測量范圍measurement range | 0.5%F.S. (1:200) |
控制范圍 Control range | 1% - 1 00% F.S. (1:100) |
準確度 Accuracy | 標準 Standard:±1% F.S. 高精度High Performance:±0.5% |
重復精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
線性度Linearity | ±0.2% F.S. |
控制響應時間 Settling time (in control) | <3秒 |
預熱時間 Warm-up time | 5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy |
閥門Valve function | 常閉式 Normally Closed |
泄露率 Leak integrity | 1*10-8 Pa·m3/sec He |
機械特性 MECHANICAL | |
工作壓力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar) |
工作壓差范圍 Operating differential pressure | 0 ~ 1 MPa |
工作溫度范圍Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (環境和氣體 ambient and gas) |
濕度范圍 Relative humidity range | 0 ~ 98% 無凝露 No-condensing |
氣路接頭類型Process connections | 卡套,、VCR、快插、快擰 (可選) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
氣體接觸材質Material | 氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材質Seals | 氟橡膠 FKM |
防護等級 Ingress protection (housing) | IP40 |
安裝方式 Mounting | 水平安裝方向校準 Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes | M4 5mm |
重量 Weight | 0.96 kg |
電氣和通訊 COMMUNICATIONS | |
電氣連接接口類型Electrical connection | DB – 9公頭 (Male) |
模擬信號 Analog input and output options | 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA (可定制) |
輸入輸出阻抗 Impedance resistance | 輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ |
模擬數據更新頻率Analog data update rate | 200Hz |
數字信號 Digital input and output options | Modbu RTU (RS232, RS485), CAN |
通信速率 Digital data update rate | 9600(默認), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps(用戶可修改) |
電源 Power requirements | 15 – 40 VDC,<200mA |
顯示更新頻率Display update rate | 50Hz |
模擬信號精度 Analog signal accuracy | ±0.05%F.S. |
特征 FRATURE | |
標況 STP reference conditions | 20℃, 1 atm |
氣體選擇Gas Select | 可選,具體參考說明書氣體系數 |
軟件Software | Aitoly分階流量軟件 |
尺寸 DIMENSIONS | Weight | ||||||||
Full scale flow | Height | Width | Depth | A | B | C | D | E | 重 量 |
2 sccm~30 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm | M4 5mm | ≈0.96 kg |
4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in | M4 0.197 in | ≈2.1 lb | |
100slpm-500slpm | 138mm | 82mm | 38mm | 62.mm | 30mm | 4mm | 10mm | M4 8mm | 1.3kg |
5.43in | 3.22 | 1.496 | 2.220 | 1.181 | 0.157 | 0.393 | M4 0.31in | 2.88lb |
MFC330 傳感器基于毛細管柱熱式傳感器,毛細管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內部質量流量,氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組,二者都在傳感器管的外部。
需要預熱: 5min 內達到 95% 流量精度,最長預熱30min
基于熱傳導,MFC響應速度≤ 1s ,優點:由于其非接觸式的結構,抗腐蝕,液體不損壞,過流不損壞。
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