省空間
采用我社開發的壓電控制器和筆記本電腦,大大節省了空間。
測定速度的提升
改善了圖像數據的讀取以及解析算法,加快了測定的速度。
可自動校準
配上3軸壓電受臺(選件),可實現干涉儀條紋設為0條紋的校準作業的自動化,可提高作業效率(球面測定時)。
解析軟件的高機能化
更新為以自動校準機能為中心的解析軟件,可對應更精細的需求。
數碼變焦機能
用數碼變焦可在1倍到3倍以每0.1的倍率設定,微小機件的確認也變得簡單了。
2D、3D彩色圖像顯示
通過2D彩圖的顯示可確認波面相位以及橫切面的形狀。3D圖像更能直觀地顯示波面的相位。
合格與否的判定機能
設定規格值,在生產線上可簡單地進行合格與否的判定。而且可設定與客戶定義像差相對應的規格值。
可定制畫面
具有保存、讀取畫面排版狀態的機能,可設定適合使用場所以及產品的排版。
主要用途:
· 評價鏡片、平面光學部品研磨面的面精度
· 評價鏡片、平面光學部品透過波面的定量
· 評價反射鏡、硬盤、晶片、磁頭等金屬面的面精度評價
規格
解析方式 | 條紋掃描方式 |
測定條紋條件 | 正弦波狀強度分布的干涉條紋 (不可進行多重干涉的干涉條紋解析) |
干涉條紋顯示圖像尺寸 | 640×470(像素) |
再現性 | PV值:0.01λ(2δ)以下、 RMS值:0.003λ(2δ)以下 |
解析機能 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3以及Zernike系數的解析與顯示 |
合格與否的判定 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等的規格值設定與合格與否的顯示 |
3軸壓電受臺沖程(選件) | 粗動:±3mm(XYZ的各軸) 微動:12μm(XYZ的各軸) |
使用環境 | 水平無震動的場所 (地面震動±0.8/S2)以下 溫度:23± 3℃ 濕度:60%以下,無凝露 |
· 因測定時的設置環境不同,會發生機械性能不能充分發揮的時候,敬請原諒!
· 本裝置不保證Traceability體系中的精度。
主畫面
解析結果以2維圖表以及3維鳥瞰圖表示。在2維圖表中可顯示橫切面的形狀。而且各像差以及Zernike系數將以數值形式顯示。如有設定規格值時,將會顯示柱型統計圖以及合格與否(○/×)。可在菜單中進行各種設定、數據的保存以及讀取。
<解析結果顯示技能>
· P-V、RMS、Pwr
· 賽德爾像差Tilt、Focus、像差AS、慧差Coma、球差Sa3
· 3維鳥瞰圖、2維彩圖
· 橫切面側面像(X、Y方向、PV、RMS)
· 合格與否判定結果
<文件輸入輸出機能>
· 工作參數的保存與讀取
· 條紋數據的保存與讀取
· 測定區域的保存和讀取
· 畫面版面的保存與讀取
· 主窗口打印
測定結果保存
測定結果可作為條紋數據保存于文檔中。且左右畫面可作為文本形式復制至剪貼板,可粘貼到表計算軟件。
測量區域設定畫面
可同時設定四角形、圓形、多角形的多個測量區域。在不進行特殊形狀設定時,亦可令程序按百分比自動圈劃區域。
<測量區域機能>
· 特殊形狀區域設定(四角形、圓形、多角形、自動圈劃區域)
· 自動圈劃設定
工作參數設定畫面
可設定產品名等的屬性,波長選擇、Fitting次數選擇、像差清除設定、表示單位選擇、對Zernike系數的offset的設定、規格值設定、用戶定義像差設定等的設定。
<工作參數設定機能>
· 產品名、單位名、注釋
· Fitting次數(3/4/9/16/25/36)
· 像差清除(像差/Zernike系數)
· 顯示單位(λ、μm、nm、條紋)
· 對Zernike系數的offset設定
· 規格值(各像差以及用戶定義式)