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化工儀器網>產品展廳>行業(yè)專用儀器及設備>其它行業(yè)專用儀器>化學/化工> 等離子增強化學氣相沉積PECVD

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等離子增強化學氣相沉積PECVD

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公司主要銷售實驗室儀器儀表、實驗室儀器設備、散熱材料、增材制造設備、電氣設備、電子產品、通訊器材、機械配件、通訊器材、電腦軟硬件、機械配件、非標自動化設備、五金工具、實驗耗材和試劑(不含危險化學品)、激光儀器及輔助設備;

電氣設備、信息系統設計、集成;工程管理服務;單晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳納米管技術開發(fā)、技術轉讓和檢驗檢測服務;

計算機軟硬件及輔助設備、信息系統軟件、非標自動化設備的租賃和維修;

銷售醫(yī)療器械、文化辦公用品、五金交電、機械設備、監(jiān)控設備、建筑材料、裝飾材料、辦公室用品;第二類醫(yī)療器械經營、第三類醫(yī)療器械經營;依托進口核心產品做研發(fā):

團隊是由深圳大學從事材料,光學,生物團隊組成,目前核心創(chuàng)始人3位,分別負責材料,生物和光電領域,分別提供相應配套設施以及技術解決方案等;業(yè)務目前主要覆蓋東莞,深圳,惠州,廣州等整個廣東地區(qū),可快速抵達廣東所在區(qū)域提供技術支持和服務。

目前典型服務客戶有:清華大學深圳國際研究生院,哈爾濱工業(yè)大學(深圳),南方科技大學,深圳大學,深圳技術大學,北京大學深圳研究生院,松山湖材料實驗室,大灣區(qū)大學(籌),東莞理工學院,中山大學,暨南大學,華南理工大學,廣東工業(yè)大學等

純水機,離心機,旋轉蒸發(fā)儀,光譜儀,質譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學工作站,,流式細胞儀,手套箱,磁控濺射

v 應用方向:高質量PECVD沉積氮化硅和二氧化硅,用于光子學、電介質層、鈍化以及諸多其它用途;用于高亮度LED生產的硬掩模沉積和刻蝕

v 電阻絲加熱電極,溫度可達400°C1200°C

v 實時監(jiān)測清洗工藝, 并且可自動停止工藝

v 晶圓可達200mm,可快速更換硬件以適用于不同尺寸的晶圓

v 高導通的徑向(軸對稱)抽氣結構:確保提升了工藝均勻性和速率

v 增加了<500毫秒的數據記錄功能:可追溯腔室和工藝條件的歷史記錄

v 通過前端軟件進行設備故障診斷,故障診斷速度快

v 用干涉法進行激光終點監(jiān)測:在透明材料的反射面上測量刻蝕深度 (例如硅上的氧化物),或者用反射法來確定非透明材料 (如金屬) 的邊界

v 用發(fā)射光譜(OES)實現較大樣品或批量工藝的終點監(jiān)測:監(jiān)測刻蝕副產物或反應氣體的消耗量的變化,以及用于腔室清洗的終點監(jiān)測




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