SEC-Z517MGX horiba IGS氣體質量流量計Z517/Z527MGX
- 公司名稱 上海進佳科學儀器有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 SEC-Z517MGX
- 產地 日本
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/10/14 17:44:58
- 訪問次數 214
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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 1萬-3萬 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 生物產業,能源,電子,汽車,電氣 | 氣體 | N2、SiH4、Ar等 |
| 量程 | 10SLM、最小3sccm | 接口 | IGS 14W3 |
| 通訊 | EtherCat |
Horiba SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX高精度質量流量計
暢銷型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可選低成本數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212
horiba高精度氣體質量流量計Z512 又稱氣體質量流量控制器，簡稱MFC。
主要功能是：控制器管路中的流量達到期望的設定值，同時反饋實際的流量信號到上位機。
大流量Horiba氣體質量流量計SEC-Z512是一款高穩定性、高精度的MFC，用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，國內多回收、二次銷售，
我公司提供進口
SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等，
保證全新進口，終身維修。
產品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現場設定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應：< 1秒 (全量程范圍內，任意設置點);
4) 非常方便的現場設置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現有模擬式質量流量控制器兼容;
7) 可選其他數字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。
horiba高精度氣體質量流量計Z512 horiba高精度氣體質量流量計Z512
產品參數
規格-數字-模擬轉換模式 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。 訂購注意： 請提供產品的介質名稱、氣體量程、接口尺寸。 如是設備備件的更換，請提供原產品的背面圖片和側面圖片、頂部圖片。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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