波蘭 PREVAC 同步加速器分析系統 高壓 真空 XPS 系統

波蘭 PREVAC 同步加速器分析系統 高壓 真空 XPS 系統

該多功能系統專為對材料表面進行精確多樣的分析而設計。

規格

系統由固定真空室的主機架組成；分析室、制備室、負載鎖定室和線性轉移。所有框架都是獨立的，并配有帶螺釘鎖定裝置的腳輪，用于地板定位。框架可以根據需要斷開連接并移動到實驗室內的其他位置。每個框架還配備了自己的烘烤帳篷。該系統非常通用，未來可以進一步擴展以添加例如切割室、存儲室和/或 PLD 室。

該系統有一個獨立的獨立式控制器柜，用于真空和儀表設備。

UHV 系統包括各種互鎖渦輪分子泵組、離子泵和鈦升華泵。泵送系統、儀表和閥門（安全和通風）全由微處理器和軟件控制，并帶有完整的安全聯鎖裝置。

各個腔室都通過光纖出口進行內部照明，以監視腔室之間的樣品轉移/支架機制。

該系統配備有蒸餾水冷卻器。

提供各種樣品架以提供廣泛的加熱和冷卻能力。

AES ARPES EA15 EA15-HP50 IS 40C1 IS 40E1 ISS Kerr效應 MBE MBE Chamber MBE腔室 Prevac PREVAC 離子源 TPD/TDS UHV特高壓多室分析系統 UHV表面科學分析系統 UPS UVS 40A2 XPS（ESCA） X 射線源 光電子能譜儀 光電子能譜測量儀 半球分析儀 半球能量分析儀 原子力顯微鏡 原子力顯微鏡分析 原子力顯微鏡分析系統 多層薄膜的原位實時磁光Kerr效應 無油真空泵 殘留氣體分析儀 真空光譜儀 真空室 真空油泵 真空泵 真空泵系統 真空測控裝置 真空能量分析 真空能量分析光譜 真空腔 真空表面分析系統 離子源 表面分析系統 超薄磁性薄膜 高壓光發射光譜特高壓系統 高真空泵