RD8655 掩膜無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司
- 品牌
- 型號(hào) RD8655
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/9/3 16:19:12
- 訪問(wèn)次數(shù) 525
光掩膜版溫度檢測(cè)掩膜測(cè)溫系統(tǒng)半導(dǎo)體測(cè)溫系統(tǒng)無(wú)線表面測(cè)溫系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)掩膜測(cè)溫系統(tǒng)
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥,綜合 |
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掩膜無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng)光掩膜又稱(chēng)光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過(guò)曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。在半導(dǎo)體芯片加工制造過(guò)程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高,需要嚴(yán)格的溫度測(cè)量和控制。掩膜無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng)用于準(zhǔn)確測(cè)量光掩膜版的溫度分布。
掩膜無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)主要技術(shù)參數(shù)
1. 體積小、精度高、采樣速度快;
2. 溫度準(zhǔn)確度高達(dá)1mK;
3. 采用無(wú)線通訊方式,響應(yīng)時(shí)間短。
掩膜無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng)
溫度范圍 | 0℃ ~ 30℃ |
溫度準(zhǔn)確度 | 1mK(3σ) |
重復(fù)測(cè)量準(zhǔn)確度 | <2mK(3σ) |
傳感器響應(yīng)時(shí)間 | ≤1s |
采集頻率 | max.4Hz |
連續(xù)工作時(shí)間 | ≥100min |
傳感器數(shù)量 | 14 |
通訊方式 | Wifi |
保修期 | 1年 |