供貨周期 | 一周 | 貨號 | VRP |
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應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 | 主要用途 | 微電子掩膜版 |
光刻掩膜版photomask是微電子領域高精度光刻掩膜板,光罩、光掩模和X射線成像感光板,采用鹵化銀感光物質,也可用于同步加速器設備中的布拉格衍射X射線斷層攝影和X射線放射成像,性能不低于Agfa(Millimask)和柯達HR-P,TE板。
感光物質壽命:12個月
成像觀察壽命:18個月。
光刻掩膜版具有高分辨率,高耐久性和*異的乳劑層與玻璃基底的粘附性能,具有2.5微米的攝像分辨率。
光刻掩膜版標準尺寸***406×300mm,玻璃襯底厚度為2.5mm。 所有光刻掩膜版都配有防暈涂層,我們也可根據客戶要求定制不同尺寸的掩膜版。
光刻掩膜版特性
平均敏感度,ISO 負性過程: 反轉過程: | 0.02 0.04 |
對比度不小于 | 5 |
***大密度不小于 | 3 |
***大感光波長 | 525nm |
感光光譜范圍 | 400-565nm |
霧密度不大于 | 0.02 |
分辨力能力 | 3,000mm-1 |
加工后乳液層強度 | 0.9kg力 |
乳液層形變溫度 | 55℃ |
訂購規格:
63x63mm-30片/包
51x254mm-12片/包
76x76mm-30片/包
102x102mm-30片/包
102x127mm-25片/包
127x355mm-12片/包
63x63mm尺寸包裝圖
102x127mm規格的包裝圖
180x240mm及其以上尺寸包裝圖
處理和處理建議
使用深綠色濾光片(透射區域-530nm及以下)在間接非光化光中開封,加工。 加工溶液溫度-20±2℃。 儲存條件:濕度65%和12-15攝氏度。
VRP材料制作掩膜版的建議工藝參數 | ||
負過程 | 溶液溫度 | |
曝光 | ||
顯影 | 研制在蒸餾水中稀釋的濃縮VRP顯影劑1:5,4-5min | 20 |
沖洗 | 水3分鐘 | 17±2 |
固定 | 固定器5-10分鐘 | 20 |
洗滌 | 水3分鐘 | 17±2 |
***終洗滌 | 水用潤濕劑(Agepon)1min | 17±2 |
干燥 | 慢氣 | 20±4 |
沖銷過程 | ||
曝光 | ||
顯影 | 在蒸餾水中稀釋的濃縮VRP顯影劑1:1.7,4.5min | 20 |
沖洗 | 水洗3分鐘 | 17±2 |
漂白 | 漂白,1.5分鐘 | 20 |
沖洗 | 水洗3分鐘 | 17±2 |
增亮 | 增亮劑3分鐘 | 20 |
沖洗 | 水沖洗5分鐘 | 17±2 |
照明 | 500W燈,距離乳液70厘米,1分鐘 | |
第二顯影 | 稀釋在蒸餾水中的顯影濃縮VRP顯影劑1:5-3分鐘 | 20 |
沖洗 | 水沖洗1分鐘 | 17±2 |
固定 | 固定器,2分鐘 | 20±4 |
沖洗 | 水洗3分鐘 | 17±2 |
***終洗滌 | 帶潤濕劑的水(Agepon)1min | 17±2 |
干燥 | 慢氣 | 20±4 |
用于X射線層析成像和放射照相術的VRP光刻掩膜版材料處理方案 | ||
程序 | 化學制品 | 溫度 |
曝光 | ||
顯影 | 柯達RP X-OMAT顯影,5分鐘 | 20 |
洗滌 | 2分鐘 | 17±2 |
固定 | 柯達RP X-OMAT LO固定器,5分鐘 | 20 |
洗滌 | 水10分鐘 | 17±2 |
干燥 | 慢氣 | 20±4 |