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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>硅片制備/晶體生長設備>單晶爐>Kronos 垂直梯度凝固法系統

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Kronos 垂直梯度凝固法系統

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述:

垂直梯度凝固法系統 Kronos 是 PVA TePla 公司推出的一種先進材料制備設備。它主要利用垂直梯度凝固技術,在特定的溫度和氣氛條件下,使材料從熔體中定向凝固生長,從而獲得高質量、具有特定晶體結構和性能的材料。

2. 設備應用

· 半導體材料領域:用于生長半導體晶體,如硅、鍺等,這些晶體是制造集成電路、電子器件的基礎材料,所生長的高質量晶體可以提高半導體器件的性能和可靠性。

· 光電材料領域:可制備用于發光二極管(LED)、激光二極管等器件的材料,如砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等,有助于提升光電轉換效率和發光性能。

· 太陽能電池領域:用于生產太陽能電池用的硅基材料,通過精確控制晶體生長過程,提高太陽能電池的光電轉換效率和穩定性。

3. 設備特點

· 高精度溫度控制:配備先進的溫度控制系統,能夠在整個生長過程中精確控制溫度梯度,確保晶體生長的穩定性和均勻性,從而獲得高質量的晶體材料。例如,在生長硅晶體時,可精確控制溫度在極小的范圍內波動,保證硅晶體的結構完整性和電學性能。

· 優化的生長氣氛:可以精確控制生長環境中的氣體成分和壓力,為晶體生長創造最佳的氣氛條件,有效減少雜質和缺陷的形成。比如在生長某些對氧含量敏感的晶體時,能嚴格控制氧氣的含量,防止晶體被氧化。

· 自動化程度高:系統具備高度自動化的操作流程,從材料裝填、生長參數設置到生長過程監控和結束后的處理,都可以實現自動化控制,減少了人工干預帶來的誤差和不確定性,提高了生產效率和產品質量的穩定性。

· 可定制化:能夠根據不同用戶的需求和特定材料的生長要求,進行定制化的設計和調整,滿足多樣化的科研和生產需求。例如,對于不同尺寸和形狀的晶體生長需求,可調整設備的腔體結構和相關部件

4. 產品參數(部分為例

材料:砷化鎵,磷化銦

坩堝直徑:4–6"

坩堝高度:高達450 mm

爐室直徑:800 mm

爐室高度:975 mm

工作壓力:大40 bar

尺寸規格

高度:2,900 mm

寬度:1,650 mm

深度:1,350 mm

設備總重量:3,500 kg







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