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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>濕法清洗設備>QSG-150 中科微電子 單片晶圓清洗甩干機

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QSG-150 中科微電子 單片晶圓清洗甩干機

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 河北中科微電子有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 QSG-150
  • 產地 河北邯鄲
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/8/14 17:36:27
  • 訪問次數 41

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


河北中科微電子有限公司是一家集半導體芯片、微電子、新材料工藝設備研發、生產、銷售于一體的高科技企業。

公司匯聚了眾多相關行業、領域的高級管理和技術人才,具有自主研發、設計和制造工藝設備的能力。與眾多科研院所及半導體上市公司相關單位建立開放式的技術交流,旨在不斷解決工藝制備領域不斷變化的市場需求,不斷突破國外廠家長期以來形成的技術壁壘。 以靈活、創新的合作模式,打造高效的技術研發平臺,不斷提升產品核心技術。 公司尊崇踏實、拼搏、責任的企業精神,并以誠信、共贏、開創經營理念,創造良好的企業環境, 以全新的管理模式,完善的技術,周到的服務,令人信賴的品質為生存根本,我們始終堅持用戶至上用心服務于客戶,堅持用自己的服務去打動客戶。

主營產品:多晶合成設備、晶體生長設備、晶圓加工設備,濕法清洗設備、晶圓檢測設備等。



多晶合成設備,晶體生長設備,晶圓加工設備,濕法清洗設備,晶圓檢測設備

產地類別 國產 設備類型 單晶圓清洗
清洗方法 濕法清洗 甩干方法 氮氣烘干

二、主要結構特征
單片清洗甩干機主要伺服電機,PLC控制器,人機界面,高潔凈閥門,PFA管,氮氣加熱器,防腐蝕外殼,以及甩干頭等部分組成。
2.1材質:進口PP板,能夠滿足潔凈室工作環境。
2.2專用伺服電機,可實現每分鐘10-3000轉,低速均勻清洗,高速離心甩干。
2.3工業PLC控制器和人機界面,穩定可靠控制各個部件,直觀可視化操作模式。
2.4大功率氮氣加熱器,快速加熱氮氣,提高烘干效率。
2.5甩干頭詳情 可根據客戶需要定制適用不同規格尺寸的甩干頭。

三、主要技術參數

項目

主要性能指標和參數

加工硅片尺寸

2-8 英寸圓片

單次甩干數量

1片

工位數量(個)

1

旋轉速度 RPM/MIN

10-3000

清洗甩干時間

2-5min

腔室及氮氣加熱方式

電加熱器

氮氣壓力

0.25Mpa,氮氣管接口6mm

純水壓力

0.15Mpa, 管接口6mm

排水管

12mm卡套接頭

控制系統

PLC可編程控制器

顯示

4.3寸觸摸屏

電源

220V

整機功率

2KW

外型尺寸(深*寬*高)mm

長365mm*寬300mm*高535mm


四、售后服務及培訓

4.1技術培訓

設備試生產運行前,賣方負責培訓買方相關操作和維修人員,內容包括設備操作維護、故障的分析和處理。

4.2售后服務

質保期內設備如發生故障,在得到買方通知后 4 個小時給答復,24 小時內賣方派有經驗的工程師到現場進行維修。

賣方對設備提供終生的免費技術支持,隨時處理、解答買方提出的技術問題。

質保期內每年派出 1~2 名相關技術人員到廠作指導及進行相應維護。

技術培訓和售后服務期間賣方人員的費用由賣方承擔。


五、設備驗收

5.1設備交貨期見商務合同

5.2交貨方式

設備在買方的施工現場安裝調試完畢、連續試生產正常運行 30 日后,驗收合格整體交貨。

設備到貨開箱前賣方應提前3天通知買方,由買方、賣方和監理共同進行設備的初驗。

賣方在設備包裝發貨qian10天通知買方到賣方制造現場驗收,經買方驗收人員驗收合格簽字后確定發貨時間;設備驗收時須提供相關驗收資料,但不作為設備的結束驗收。




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