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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>關鍵尺寸測量設備>SAM全自動 全自動超聲波掃描顯微鏡

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SAM全自動 全自動超聲波掃描顯微鏡

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半導體測量檢測

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

全自動超聲波掃描顯微鏡SAM Autotray 系列:SAM Auto Tray是專門為電子器件、電路板、IGBT和其他復雜部件的生產控制而開發的產品系列。該系統符合10級潔凈室標準,主要應用包括驗證缺陷,如:縫隙、氣泡、孔洞、夾雜物、脫層區域、焊接或銀燒結界面的厚度變化等,支持同時檢查多個界面。




全自動超聲波掃描顯微鏡SAM Autowafer 系列:SAM 300 AutoWafer系列是專門為內聯生產控制而開發的產品系列,符合100/1000級無塵室標準,該系統專為檢測晶圓界面、晶圓鍵合、 MEMS 產品、或者混合粘合應用而設計,可用于檢測空洞、夾雜物或分層或微空隙。多傳感器配置可使得晶圓檢測通過率




全自動超聲波掃描顯微鏡SAM 大視場掃描系統:SAM大視場系列是專門為分析DCBs或電源模塊而開發的產品系列,可支持檢測掃描范圍為300µm x 300µm1300mm x 1300mm。多至8個傳感器可實現超高檢測通過率。該系統包括自動缺陷審查軟件、GEM/SECS通訊,以及MES通訊。激光打標站和分類輸出端口可供選擇。








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