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DM200-SE 全封閉式桌面顯影機(jī)

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顯影

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述
全封閉式桌面顯影機(jī)是一種高效、精準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,主要用于各種材料的顯影處理。其全封閉式設(shè)計(jì)能夠有效防止顯影液揮發(fā)和污染,確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的清潔和安全。同時(shí),桌面型設(shè)計(jì)使得設(shè)備占地面積小,便于移動(dòng)和放置,適用于各種實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
2.產(chǎn)品特點(diǎn)

全封閉式設(shè)計(jì):避免顯影液揮發(fā)和霧氣擴(kuò)散到外部,保護(hù)環(huán)境,減少對(duì)人體健康的危害。
耐腐蝕材質(zhì):外殼噴塑處理,耐腐蝕、易清洗;內(nèi)腔采用不銹鋼材質(zhì),鏡面拋光處理,光滑、耐腐蝕、易清洗。
內(nèi)置真空過濾器:防止液體吸入真空泵,保護(hù)設(shè)備免受損壞。
可調(diào)真空壓力:真空壓力可調(diào),壓力值實(shí)時(shí)顯示,滿足不同實(shí)驗(yàn)需求。
可調(diào)液體流量:液體流量可調(diào),回吸可調(diào),確保顯影過程的精確控制。
廣泛適用性:適用于多種尺寸的wafer,從碎片到200mm(8”圓晶)均可處理。
高精度控制:轉(zhuǎn)速分辨率高,旋涂速度和加速度可調(diào),工藝時(shí)間設(shè)定精確。
3.應(yīng)用域

全封閉式桌面顯影機(jī)廣泛應(yīng)用于高封裝、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))、LED(發(fā)光二管)等市場(chǎng)域。此外,它還可用于醫(yī)療衛(wèi)生、化工、能源、電子等多個(gè)行業(yè)的實(shí)驗(yàn)室中,進(jìn)行各種材料的顯影處理。
4.產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào):DM200-SE
品牌:LEBO/雷博
產(chǎn)地:中國(guó)(江蘇江陰)
材質(zhì):外殼噴塑,內(nèi)腔不銹鋼
尺寸:550mm (W) x 600mm (D) x 405mm (H)
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8”圓晶)
轉(zhuǎn)速分辨率:±1 RPM
旋涂速度:20-3000rpm(空載)
旋涂加速度:20-10,000rpm/sec(空載)
工藝時(shí)間設(shè)定:0-3,000sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec




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