Pishow® A 系列 8英寸電感耦合等離子體刻蝕設備

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ICP

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

Pishow® A 系列

8英寸電感耦合等離子體刻蝕（ICP）設備

1. 詳細介紹

ICP是一種加工微納結構的等離子刻蝕技術。具有刻蝕快、選擇比高、各項異性高、刻蝕損傷小、均勻性好、斷面輪廓可控性高、刻蝕表面平整度高等優點。目被廣泛應用于Si、SiO2、SiNx、金屬、III-V族化合物等材料的刻蝕。可應用于大規模集成電路、MEMS、光波導、光電子器件等域中各種微結構的制作。

2. 系統特性

擁有多種材料刻蝕解決方案，包括硅基材料、金屬、III-V和其他化合物半導體

可提供高低溫（-10℃至+150℃）工藝模式

可提供ALE解決方案，實現對刻蝕速率和均勻性的高精度控制

具備Bosch工藝能力，可提供高深寬比硅深槽或深孔刻蝕解決方案

適用于8英寸晶圓，并可向下兼容，提供單腔式和多腔式等多種腔室搭配方式