原子層沉積設備
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/10/10 8:59:58
- 訪問次數 363
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價格區間 | 50萬-100萬 | 應用領域 | 化工,生物產業,農業,石油,地礦 |
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SENTECH ALD原子層沉積設備的優勢
用于敏感襯底的PEALD
真遠程等離子體源能夠在低溫<100°C下高均勻度和高保形性地覆蓋敏感襯底和膜層,在樣品表面提供高通量的反應性氣體,而不受紫外線輻射或離子轟擊。
用于工藝研發和改善的實時監測
ALD實時監視儀RTM的原位診斷實現了單一ALD循環的超高分辨率。優點是確認ALD范圍,減少處理時間和總生產成本。采用橢偏光譜、QCM和QMS進行原位診斷,也是我們的優點。
簡易的腔體清洗
定期反應腔體清洗對于穩定和可重復的原子層沉積工藝是的。借助于用于清洗原子層沉積系統的升降裝置,可以容易地打開反應腔體。
集成手套箱
SENTECH原子層沉積設備各種供應商的手套箱兼容。
多腔集成
可作為SENTECH多腔系統的一個模塊。我們的可以與SENTECH PECVD和蝕刻設備結合用于工業應用??蛇x的多腔系統也具備片盒到片盒裝片的特點。
SENTECH實現了熱ALD和等離子體增強ALD操作。ALD設備可以配置為用于氧化物、氮化物和金屬沉積。三維結構具有出色的均勻性和保行性。利用ALD、PECVD和ICPECVD,SENTECH提供等離子體沉積技術,用于從納米尺度沉積到數微米的薄膜沉積。
SENTECH ALD設備實現了熱ALD和等離子體增強ALD膜交替沉積多層結構。熱ALD和等離子體增強ALD可在同一個反應腔體中用快門來切換。
SENTECH提供了前沿的快速原位監測技術,實時監測和廣泛范圍的光譜橢偏儀可逐層監測薄膜生長。