Beneq Transform® 300 ALD

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

ALD

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

價格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子

1.產(chǎn)品概述：

Beneq Transform 300 是一個高度通用的制造平臺，面向致力于 CIS、電源、Micro-OLED/LED、先進(jìn)封裝和其他 MtM 應(yīng)用的 IDM 和代工廠。它是一種高度可配置的解決方案，適用于多種高薄膜應(yīng)用，從柵電介質(zhì)到鈍化和/或封裝等。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢：

大的靈活性和功能：Beneq Transform® 300 是一款同時提供熱 ALD（批量）和等離子 ALD（單晶圓）技術(shù)的 300mm 原子層沉積（ALD）簇工具。

配置：找到適合您的設(shè)置。 Transform® 300 平臺旨在滿足廣泛的容量和應(yīng)用要求，包括先進(jìn)封裝、芯片封裝和磁帶晶圓應(yīng)用。

生產(chǎn)力：行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的頂水平。該工具包括可維護(hù)性和可用的短 MTTCR。借助我們有的預(yù)熱模塊，您可以享受熱批量 ALD 的高吞吐量。

晶圓廠就緒：Beneq Transform® 300 與 SECS/GEM 通信功能兼容，并符合高的 SEMI S2 和 S8 標(biāo)準(zhǔn)。