TRP450 高真空磁控濺射薄膜沉積系統
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 沈陽科儀
- 型號 TRP450
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/9/5 11:03:09
- 訪問次數 239
產品標簽
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1.產品概述：
本沉積系統可用于制備光學薄膜、電學薄膜、磁性薄膜、硬質保護薄膜和裝飾薄膜等，工藝性能穩定、模塊化結構，采用行業的軟件控制系統。
2.設備用途：
可廣泛應用于大院校、科研院所的薄膜材料的科研項目。
3.用戶評價：
TRP-450高真空鍍膜機其設備質量過關，功能齊全，性能穩定，自動化程度高，抽氣速平穩，電源穩定可靠，氣路流暢密閉，鍍膜質量平整光滑，均勻致密，結合力強，且系統操控智能，便捷，可滿足科研實驗與生產制造的需求，是一款優秀的磁控濺射鍍膜系統?！本┦┘夹g研究院有限公司 李老師
4.真空室：
真空室結構:圓筒形開門
真空室尺寸:φ450x400mm
限真空度:≤6.6E-6Pa
沉積源:永磁靶3套，φ2英寸，可以向上濺射或向下濺射。
樣品尺寸，溫度:φ4英寸，1片，高800℃
占地面積（長x寬x高）:約1米×1.8米×2米電控描述:全自動
工藝:片內膜厚均勻性：≤±3%
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