Line tech質量流量控制器M3500V
Line tech質量流量控制器M3500V
吳經理： 135.3421,8343

介紹：

1997年3月-Line Tech公司成立是一家專注于質量流量控制器生產的創新型企業。

公司推出了一系列高性能、可靠穩定的流量控制器產品。廣泛應用于半導體設備，太陽能光伏設備，石油化工、醫藥、食品與能源等領域。

M3030VA流量控制器是Line Tech生產的初代質量流量控制器/計量儀器（MFC/MFM）產品，一直以來都以zhou越的性能和可靠性享有良好的聲譽。我們決定進一步發展這個系列，采用更小的PCB（Printed

Circuit Board），于是誕生了新的MS系列。MS系列比M系列更為緊湊，但并不犧牲性能。它適用于廣泛的壓力/溫度條件，以其快速響應和高重復性而自豪。我們的M和MS系列產

品都能夠為您的理想氣體流量解決方案提供可靠、準確的質量流量測量和控制。

特點：

應用廣泛：流速范圍從0.01至5,000 SLPM，滿足您的各種應用需求

精確度高：誤差率±1%FS，測量精度高且一致性好

可靠耐用：長時間應用中重復性好，誤差±0.25%

響應迅速：響應時間可在1至2秒之間選擇，滿足您的理想應用

靈活多變：溫度范圍寬（0~50攝氏度），壓力<90巴，各種條件都能應對

持久耐用：具有高抗腐蝕性，結構堅固，便于長期使用和處理

質量流量控制器是半導體制造設備的關鍵，其利用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同氣體進行流量測量及控制。

質量流量控制器的應用十分廣泛，可應對毫升級至數百升級的氣體流量控制范圍的工況需求，且不受環境溫度及壓力變化的影響。