參考價(jià) | ¥ 11000 |
訂貨量 | ≥1件 |
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測量原理 | 電容薄膜 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 量程 | 0.1-1000mbar |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,航天,汽車 | 真空接口 | KF16 |
CDG025D
電容薄膜真空計(jì)INFICON (英福康)
CDG025D電容薄膜真空計(jì)屬于INFICON薄膜規(guī)系列。測量精度可達(dá):0.2%(讀數(shù)精度)、自帶溫度補(bǔ)償功能,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。自帶一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整功能。選用防腐蝕陶瓷傳感器可應(yīng)用于腐蝕性真空環(huán)境。在腐蝕性環(huán)境中也能保持良好的零點(diǎn)穩(wěn)定性;預(yù)計(jì)壽命可達(dá)到數(shù)百萬個(gè)加壓循環(huán),包括突發(fā)大氣壓。傳感器屏蔽(已申請zhuanli)可防止儀表被過程污染。堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可有效過濾電磁干擾,保持長期的穩(wěn)定測量。
技術(shù)特點(diǎn):
從 100 mTorr 至 1000 Torr 滿量程可選
電源接通后快速穩(wěn)定
暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
可選防腐蝕陶瓷傳感器
電磁屏蔽技術(shù)保持信號(hào)的長期溫定
具有溫度補(bǔ)償
傳感器受防污染保護(hù)功能(已申請zhuanli)
一鍵調(diào)零功能
典型應(yīng)用:
用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示器制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
高度精確的壓力測量控制
電容薄膜真空計(jì)INFICON (英??担?/strong>
技術(shù)參數(shù):
參數(shù) | 單位 | 參數(shù)值 | ||
Full scale (FS) 滿量程可選范圍 | Torr / mbar | 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar | ||
精度 | % of reading | 0.2%讀數(shù)精度 | ||
分辨率 | percent FS | 0.003% | ||
Lowest reading zui低讀數(shù) | 0.01 % FS(滿量程的) | |||
suggested Reading 建議參考讀數(shù) | 0.05 % FS (滿量程的) | |||
Control pressure 控制壓強(qiáng)時(shí)建議讀數(shù)范圍 | 0.5 % FS (滿量程的) | |||
輸出信號(hào)(模擬) | V (dc) | 0 … +10V | ||
Supply voltage (dc) 供電電源 | V (dc) | +14 ... +30 V | ||
Power consumption 功率 | ≤1 W | |||
響應(yīng)時(shí)間 | ms | 30 | ||
Temperature溫度 | ||||
Operation (ambient) 操作溫度 | °C | +5 ... +50 °C | ||
Bakeout(at flange3) 環(huán)境溫度(在法蘭) | °C | ≤110 °C | ||
Storage 儲(chǔ)藏溫度 | °C | –40 ... +65 °C | ||
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass | |||
Degree of protection 防護(hù)等級 | IP 30 |
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