日本MTK臭氧水發(fā)生設(shè)備清潔半導(dǎo)體和液晶 MTK-HC系列 特點(diǎn)介紹

降低成本  用臭氧水替代現(xiàn)有化學(xué)溶液

改善工藝性能

半導(dǎo)體晶片清洗去除顆粒、金屬、有機(jī)物質(zhì)等雜質(zhì)

提高太陽能電池板的發(fā)電效率良好的紋理形成、雜質(zhì)去除等。

減少環(huán)境影響（環(huán)保）

通過減少化學(xué)品排放實(shí)現(xiàn)排放

通過使原料氣體（氧氣、空氣）流入雙石英玻璃管之間的間隙中產(chǎn)生的無數(shù)微細(xì)放電（無聲放電），在原料氣體中產(chǎn)生臭氧。

所有與氣體接觸的部件均由石英制成，因此不存在金屬污染。

高濃度臭氧

臭氧水中半導(dǎo)體、液晶、太陽能電池等金屬雜質(zhì)清潔規(guī)范

臭氧濃度迅速上升，約1分鐘內(nèi)達(dá)到最高臭氧濃度。

小型裝置寬600mm×深600mm×高1300mm（25ppm、5L/min規(guī)格）

與其他公司相比便宜

日本MTK臭氧水發(fā)生設(shè)備清潔半導(dǎo)體和液晶 MTK-HC系列 規(guī)格參數(shù)

?液晶（有機(jī)物除去用）

?半導(dǎo)體

（金屬、粒子、有機(jī)物除去用）

?太陽能電池

（有機(jī)物、粒子除去用）

?MEMS部件、傳感器等

（有機(jī)物、粒子、有機(jī)物除去用）金屬）?潔凈規(guī)格（不含金屬）

?涵蓋高濃度、高流量

?濃度穩(wěn)定性

?性價(jià)比

半導(dǎo)體（清洗）

FPD、LCD（清洗）

MEMS、傳感器（清潔）

硬盤（清潔）

太陽能電池（清潔）

醫(yī)療（洗手、純凈水管道清洗）

食品（洗手、殺菌、除臭）