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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐>FB系列 真空爐

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FB系列 真空爐

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真空爐FB系列

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

產地類別 進口 價格區間 面議
儀器種類 箱式爐 應用領域 綜合

1 產品概述:

   真空爐是一種在爐腔內利用真空系統(由真空泵、真空測量裝置、真空閥門等元件組成)將爐腔內部分物質排出,使爐腔內壓強小于一個標準大氣壓,從而實現真空狀態的加熱設備。其爐膛通常由金屬罩殼或石英玻璃罩密封,并通過管道與高真空泵系統聯接,以達到所需的真空度。真空爐的加熱方式多樣,包括電阻加熱、高頻感應加熱等,最高溫度可達3000℃左右。

2 設備用途:

真空爐的用途非常廣泛,主要包括以下幾個方面:

  1. 熔煉金屬材料:真空爐能夠提供高溫和低壓環境,使金屬材料在熔融狀態下更容易排除雜質和氣體,從而提高材料的純度和均勻性。

  2. 燒結陶瓷和粉末材料:在高溫下提供無氧環境,避免材料氧化和污染,使燒結效果更好。

  3. 熱處理金屬材料:提供高溫下的穩定、均勻的加熱環境,用于提高材料的硬度、韌性等力學性能。

  4. 太陽能電池生產:用于制備太陽能電池中的硅片,進行摻雜、燒結等工藝。

3 設備特點

真空爐的特點主要體現在以下幾個方面:

  1. 清潔表面:消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳,可獲得無變質層的清潔表面,這對于改善切削性能等具有重要意義。

  2. 環保無污染:整個加熱過程在真空環境下進行,對環境無污染,無需進行三廢處理。

  3. 高精度控制:爐溫測定、監控精度明顯提高,熱電偶的指示值與爐溫溫度可達到較高的精度。

  4. 機電一體化:現代真空爐的機電一體化程度高,工件移動、氣壓調節、功率調節等均可預先編程設定,實現自動化操作。


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技術參數和特點:

通過采用9分割溫度控制的in-Line方式,實現了優秀的均熱性能和較高的生產性能。

由于可對應從低真空到高真空的各種用途,可以選擇合適的排氣系統。






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