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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>PFS系列 活性化退火設備

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PFS系列 活性化退火設備

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述

PFS系列是SiC工藝等高溫處理工藝中,配合使用的退火設備。可大對應φ 150mm。活性化退火設備?是一種專門用于半導體行業的技術設備,它屬于退火爐的一種,用于加熱半導體晶片以影響其電性能。退火爐在半導體器件制造中扮演著重要的角色,通過加熱晶片來激活摻雜劑、轉換薄膜形態、修復注入損傷等,從而改善半導體的電氣性能。這種設備通常具有節能型周期式作業爐結構,采用超節能設計和纖維結構,以實現高效節能。此外,活性化退火設備還能夠集成到其他爐子處理步驟中,如氧化處理,或者獨立進行處理,以滿足不同的工藝需求。


2. 設備用途/原理

SiC功率器件用研究開發量產用

3. 設備特點

大可對應φ150mm基板大可加熱2000℃高真空對應單批次25片一次性處理(也有5片處理機)                                                                                   

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