Adwill-Global紫外線研磨用表面保護膠帶 E系列 特點介紹

紫外線硬化型研磨用表面保護膠帶 Adwill E系列可在背面研磨時為晶圓正面提供可靠保護，防止研磨水或殘渣侵入污染晶圓正面。

膠帶通過紫外線照射后,粘著力會大幅度弱化，方便從晶圓上剝離, 因此不會給晶圓造成壓力，同時適用于大尺寸、薄型晶圓的加工。

Adwill-Global紫外線研磨用表面保護膠帶 E系列 規格參數

1．設備的高可靠性

晶圓表面的污染極小，因此背面研磨后無需進行晶圓清洗。

2．高潔凈度等級

粘著加工環境達到100級（以美國聯邦標準209b為基準）。

適用于帶錫球晶圓 和 薄型晶圓的膠帶產品

1．控制背面研磨后晶圓的翹曲、適用于錫球晶圓

通過在膠帶中增加應力緩沖性能，防止因膠帶貼合時產生的殘余應力所導致的背面研磨后晶圓翹曲。此外，利用錫球晶圓研磨時, 通過即使驅散產生的應力，以防止晶圓破損和晶圓研磨紋的產生，同時提高晶圓研磨厚度的均一性。

2．提高晶圓厚度的精度(T.T.V.*)

提高研磨后晶圓厚度的均一性膠帶具有良好的厚度均一性，可以保持背面研磨后的晶圓厚度精度。*T.T.V.＝全局厚度公差

紫外線硬化型研磨用表面保護膠帶 Adwill E系列可在背面研磨時為晶圓正面提供可靠保護，防止研磨水或殘渣侵入污染晶圓正面。

膠帶通過紫外線照射后,粘著力會大幅度弱化，方便從晶圓上剝離, 因此不會給晶圓造成壓力，同時適用于大尺寸、薄型晶圓的加工。