WE2102系列 8英寸槽式清洗設備

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WE2102系列 8英寸槽式清洗設備北方華創

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

產地類別	國產	價格區間	面議
應用領域	綜合

1. 產品概述

WE2102系列 8英寸槽式清洗設備，該平臺工藝區為 12 吋先進槽式清洗設備的拓展，具備優異的工藝效果。

2. 設備用途/原理

該平臺工藝區為 12 吋先進槽式清洗設備的拓展，具備優異的工藝效果。精準控制藥液混合比例。多樣的藥液比例擴展應用。精準的蝕刻速率控制。優秀的干燥效果。軟件量身定制，具備快速更新能力。

3. 設備特點

晶圓尺寸 8 英寸，適用材料光阻、單晶硅、氧化硅、氮化硅、介質膜、金屬膜、氮化鈦、硅化物。適用工藝預清洗、去膠清洗、氮化硅去除、金屬去除（Co,Ti）、Recycle 清洗。適用域集成電路、化合物半導體、新興應用。