Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統

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Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統北方華創

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

1. 產品概述

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統，磁控濺射源和腔室結構的設計有效提高靶材利用率。

2. 設備用途/原理

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統，磁控濺射源和腔室結構的設計有效提高靶材利用率，靈活的腔室配置，針對先進封裝域優化、穩定的傳輸系統，兼容玻璃片、翹曲片、鍵合片等多種類型基片傳輸，穩定并且低的Rc表現，良好的顆粒和應力控制能力，優化的工藝流程帶來大產能表現，低運營成本。

3. 設備特點

晶圓尺寸 12英寸，適用材料銅、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、鎢化鈦、金、鋁等，適用工藝電、先進封裝中的UBM/RDL，適用域新興應用、先進封裝。