APS系列 感應式碳化硅長晶爐
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號 APS系列
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/9/5 10:30:49
- 訪問次數(shù) 216
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1. 產品概述
APS系列 感應式碳化硅長晶爐，適用于 6 英寸、8 英寸，導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。
2. 設備用途/原理
APS系列 感應式碳化硅長晶爐，適用于 6 英寸、8 英寸，導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。創(chuàng)新的結構設計，提供高純材料生長能力。智能的運行 / 監(jiān)控系統(tǒng)，適于長時間 / 高溫 / 低壓工藝，拓寬高質量 / 大規(guī)模晶體生長窗口。包含多款輔助設備：大產能原料合成爐、晶錠退火爐、氮化鋁長晶爐及 其他定制化設備。
3. 設備特點
晶體尺寸 6、8 英寸，加熱方式 感應加熱，適用材料 碳化硅、氮化鋁，適用工藝 物理氣相輸運法（PVT 法），適用域 科研、化合物半導體。
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