日本DIC用于半導體/化學制劑等脫氣裝置 PF-F系列 特點介紹

脫氣膜采用PTFE，接觸液體部全部為氟樹脂制的脫氣模組。可進行酸、堿、有機溶劑等液體的脫氣。

可用于在半導體、LCD制造過程中使用液體的脫氣、除泡（各種抗蝕劑、稀釋劑、化學制劑等）

溶劑型噴墨墨水的脫氣

日本DIC用于半導體/化學制劑等脫氣裝置 PF-F系列 規格參數

PFF的脫氣原理是使用四氟化乙烯樹脂（PTFE）制的管狀透氣膜除去溶解在液體中的氣體。

具體如下圖所示，將管外側設為真空，通過管內外氣體的壓差從管內流動液體中去除溶解氣體。

PF-F series

脫氣膜采用PTFE，接觸液體部全部為氟樹脂制的脫氣模組。可進行酸、堿、有機溶劑等液體的脫氣。

型號流量尺寸耐圧最高使用溫度連接連接

mL/minmmMPa℃（液體入口/液體出口）真空口

PF-3T-S-F 1-20 29×58×86 0.2 40 4×2 tube 4×2 tube 

PF-03F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8 

PF-05F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8 

PF-10F 1 - 200 102φ×260 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8 

PF-13F 1 - 300 102φ×260 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8 

PF-28F 1 - 500 102φ×440 0.294 40 3/8 Super pillar Rc 1/8