美國Entegris流通式壓力傳感器耐化學腐蝕 Entegris 4210/4250型 特點介紹

4210型

壓力 無論您的目的是自動化、過程控制還是安全，您的測量都必須干凈、準確且可靠。為了滿足半導體行業的需求，

Entegris 將最新的電子傳感器技術與高度清潔的材料相結合，生產出能夠對工藝變化進行高度控制的先進產品。

在高純度應用中可靠測量腐蝕性化學品和 CMP 漿料中的壓力

所有裝置在發貨前均經過功能測試，精度為滿量程的 1%

沒有活動部件，也沒有填充液，因此不會受到污染

4210 型采用流通式設計，可減少死體積并降低污染風險

接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®，適用于高純度應用

行業標準 Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統設計并且易于安裝。

4250型

NT™ 壓力傳感器配有耐化學腐蝕的藍寶石傳感器，可測量負壓和正壓。

該傳感器沒有填充液或隔膜，在其他非金屬傳感器無法處理的情況下具有高度可靠性，精度為滿量程的 1%。 

氫氟酸和負壓應用

使用耐化學腐蝕的藍寶石壓力傳感器高精度、可靠地測量壓力

監控過程條件可提高安全性和系統性能

發貨前經過 100% 性能測試，精度為滿量程的 1%

易于連接到電子顯示/監控系統

無活動部件，無填充液，因此無污染

流通式設計最大限度地減少死體積并降低污染風險

美國Entegris流通式壓力傳感器耐化學腐蝕 Entegris 4210/4250型 規格參數