美國Entegris化學溶液流量控制器高精確度 Entegris NT6510/NT6520 特點介紹

InVue™ NT6510 在使用時提供精確的化學品流量控制。該流量控制器設計用于中低流量范圍（15 - 1250 mL/min）的化學品混合和分配。

與一般流量控制器相比，它可以更精確地控制容易產生氣泡的化學溶液。

內置壓力傳感器，可同時輸出兩種輸出（流量、壓力）

設計緊湊，不占用太多空間且易于安裝

先進過程控制的出色再現性

快速響應以實現準確的分配率

LED狀態和觸點報警輸出 

美國Entegris化學溶液流量控制器高精確度 Entegris NT6510/NT6520 規格參數

流量控制范圍 10-100%滿量程 

流量精度 （23℃純水校準） ±1.0%滿量程 

流量重現性 ±0.5%滿量程 

壓力測量范圍 0至414kPa 

壓力精度 ±1.0%滿量程 

運營壓力 69 至 414 kPa 

所需的最小壓差* 69kPa 

輸出信號 4 至 20 mA，2 點（流量和壓力） 

響應時間 不到3秒 

耐壓性 690千帕 

使用流體溫度 10°C 至 65°C 

電源 24 伏直流電 (± 10%) @ 1.2 安 

設定點輸入 4-20 mA、0-5 VDC 或 0-10 VDC 

住房標準 IP64 

重量 約1.8公斤