Ensinger用于CMP研磨環的未填充PPS管材料 特點介紹

TECATRON CMP natural是一種未填充PPS塑料 (聚苯硫醚)，專門針對CMP研磨環應用而優化，因此是恩欣格半導體行業產品系列中的一員。

TECATRON CMP natural材料具有的性能，相比標準PPS聚合物，在用作CMP研磨環時能減少微劃痕和晶圓級缺陷。

材料選擇的關鍵挑戰是CMP研磨環材料性能的微小差異將影響襯墊凸起的形狀。

這種改變將導致不同數量的襯墊碎片，并影響碎片夾帶的程度，進而對CMP工藝的整體性能產生重大影響。

研究表明，TECATRON CMP在一定程度上磨損研磨墊，因此研磨墊粗糙度得到改善，從而提高了材料的去除率，同時也減少了缺陷。

Ensinger用于CMP研磨環的未填充PPS管材料 規格參數

與恩欣格所有半導體級材料一樣，TECATRON CMP natural管材的生產符合半導體的精確復制要求 (也稱為精確復制或CE)，與工業級PPS相比，它的質量控制更為嚴格。

與標準工業級PPS塑料相比，額外的質量控制和措施降低了材料的雜質風險，改善了其內部應力和尺寸穩定性。

恩欣格公司不僅優化了材料特性，還開發了特殊管材尺寸，以便更好地適應CMP研磨環的典型尺寸，從而減少加工過程中的浪費和降低成本。

例如，與外徑360/內徑290毫米傳統尺寸相比，使用外徑350毫米/內徑300毫米尺寸的管材可以節省27%的材料成本。