日本mitaka非接觸式微透鏡陣列三坐標測量機 MA系列 特點介紹

配備了NH系列的所有基本形狀測量功能，可以測量透鏡和模具的橫截面形狀，并使用專用軟件一次性測量曲率和中心坐標。

可以使用高精度圖像處理來評估鏡片的光學特性。

評價項目：有效焦距/后焦距/透過率/焦點位置/焦深/MTF

矩陣創建軟件

專用矩陣測量軟件可記憶陣列模式并允許順利自動測量。

非常適合 MLA 的研發和質量控制，MLA 的尺寸越來越細、面積越來越大。

NH顯微鏡部分可配備Nomarski微分干涉光學系統。

該光學系統可以直觀地捕獲數十埃的表面粗糙度和劃痕，這是普通明場光學系統無法觀察到的，并且可以使用激光探頭在現場進行定量粗糙度和臺階測量。

日本mitaka非接觸式微透鏡陣列三坐標測量機 MA系列 規格參數

使用鏡片形狀測量

激光探頭進行測量

- 各鏡片表面的曲率半徑、中心坐標值

、圓度

、頂點高度、XY坐標

、截面、三維形狀測量、表面粗糙度測量

通過圖像處理進行測量

?有效焦距

?后焦距、MLA有效焦距

?各鏡頭的對焦位置及位置偏移

?各鏡頭的對焦光斑尺寸

?透過率

?焦平面處的成像評價（彗形像差、畸變像差等）

-深度焦點（可選）

- MTF 測量（可選）

移動范圍（X、Y、Z、AF）

100, 100, 100, 10毫米

XY軸刻度分辨率

0.1μm

AF軸刻度分辨率

0.01μm

測量原理

點自動對焦方法 ISO 25178-605

激光

λ = 635nm 輸出小于 1mW