PEPS II TMC主動空氣隔振調平系統
參考價 | ¥50000-¥200000/件 |
- 公司名稱 努美(北京)科技有限公司
- 品牌TMC
- 型號PEPS II
- 所在地北京市
- 廠商性質生產廠家
- 更新時間2024/5/22 19:49:44
- 訪問次數 694
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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 環保,電子,航天,制藥,綜合 |
TMC主動空氣隔振調平系統PEPS II
PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密電子定位系統)基礎上并對其進行了改進。通過添加新的數字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,還有一個改進的用戶界面。PEPS II是一種用于TMC氣動隔振系統的數字非接觸式高度控制系統。這種系統通常包括機械高度閥和機械高度傳感連桿。其應用包括需要改善穩定時間和提高產量的半導體制造設備以及需要最佳噪聲性能和平臺穩定性的精密實驗室環境。
TMC主動空氣隔振調平系統PEPS II特點
●數字控制,用戶友好的LCD界面
●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系統的非接觸式電動氣動高度控制
●Z軸位置重現性:10微米
●由于消除了傳統機械高度控制系統的杠桿接觸點,從而改善了隔振效果
●氣動前饋功能最大限度地減少了Z軸對X-Y平臺運動的反應
●可以調整以快速穩定由X-Y平臺引起的運動
●可選的“VX”功能集成了慣性傳感器,用于主動阻尼垂直隔振器共振
●與“軟塢站”兼容。允許在沒有運動安裝的情況下加載/卸載晶圓
●相稱的電子閥門。“開關”或傳統電子閥不會產生脈沖噪聲
●排氣管用于廢氣的清潔處理
●邏輯停靠控制和狀態
規格
物理尺寸 | PEPS II控制器 1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)寬 x 9.4英寸(240 mm)深 | |
重量 | PEPS II控制器:約3.0磅(1.2千克) | |
環境 | 僅限室內使用,最高2,000米海拔(6560英尺) | |
電源要求 | 電源輸入電壓范圍:90-230 VAC | |
PEPS II用戶界面 | 電源開關 | |
PEPS II 界面 | 帶EMI濾波器的交流電源輸入 | |
PEPS II | 模擬輸入(單極):8 x 12位(16位使用過采樣),0 ... 3.0 V滿量程 | |
氣動規格 | 長期高度穩定性:±50微米 |
性能