工藝與材料表征系統 TriboLab CMP
- 公司名稱 上海富瞻環保科技有限公司
- 品牌 Bruker/布魯克
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/5/22 18:54:09
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產地類別 | 進口 | 儀器種類 | 多功能摩擦磨損試驗機 |
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工藝與材料表征系統 TriboLab CMP
產地類別:進口
儀器種類:多功能摩擦磨損試驗機
儀器尺寸:394mm(寬)x 610mm(深)x 775mm(高)
最大摩擦力:200N
摩擦力分辨率:10mN
最高溫度:1000℃
TriboLab CMP 利用其前身產品 (Bruker CP-4) 超過 20 年的 CMP 領域專業知識,為業界的 TriboLab 平臺帶來了一套完整的功能。基于本套設備產生的高精度和高可重復性使得在整個 CMP 流程中能夠進行高效的鑒別、檢查和連續功能測試。TriboLab CMP 是市場上能夠提供廣泛的拋光壓力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、聲發射和表面溫度測量的工藝開發工具,可準確、完整地描述 CMP 工藝和耗材。
用于 CMP 的小型研發規模專業系統
布魯克的TriboLab CMP工藝和材料表征系統是專為晶圓拋光工藝而設計,是具有可靠、靈活和高效的臺式設備。
重現全尺寸晶圓拋光工藝條件,無需在生產設備上停機
提供的測量可重復性和細節檢測
允許在小樣品上進行測試,比全晶圓測試節省大量成本
板載診斷系統可以更好地了解拋光過程
比市場上任何其他系統提供更多的瞬態拋光過程的參數
從接觸拋光盤開始直至整個測試過程都能收集數據
通過更完整、更詳細的數據實現早期流程開發決策
具有靈活的樣品類型、尺寸和安裝配置
拋光任何平面材料,幾乎能使用任何修正盤,任何拋光液,和任何拋光墊
輕松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圓
可同時安裝多個樣品,測試更靈活
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