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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>組裝與封裝設備>貼片機/粘片機>SB6/8 Gen2 晶圓貼片機

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SB6/8 Gen2 晶圓貼片機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述:

SB6/8 Gen2 是一款適用于晶圓鍵合工藝的半自動平臺設備 123。它能夠處理 200 毫米以下各種形狀和類型的襯底和晶圓,是一個適合多種用途和工藝環境的靈活工具

2. 設備應用

· MEMS 領域:在微機電系統(MEMS)的封裝及結構塑造中發揮重要作用,有助于制造高性能、高精度的 MEMS 器件。

· LED 領域:用于 LED 封裝及結構塑造,提升 LED 器件的性能和可靠性。

· 先進封裝領域:為先進封裝技術提供支持,如 2.5D 和 3D 集成等,滿足半導體行業對更高集成度和更小尺寸的需求。

3. 設備特點

· 高度靈活:在鍵合室溫度、鍵合力和空氣壓力的配置上有廣闊的自由度,大大增加了應用的選擇范圍,并且還能調整工藝以適應不斷變化的工藝條件。

· 工藝穩定:可以確保在不同的工藝條件下都能保持穩定的鍵合質量,提高產品的一致性和可靠性。

· 產量高:具備較高的生產效率,能夠滿足從研究開發到批量生產,再到大規模生產的不同需求。

· 高精度對準:與 SUSS 鍵合對準器套裝組合后,能夠進行高精度的預鍵合對準,保證鍵合的精度和準確性。

· 兼容多種材料和工藝:開放的平臺兼容臨時鍵合的所有常見材料系統,除已用于生產的工藝外,還在不斷鑒定更多材料,以最大范圍支持市場上可供選擇的粘材;并且能夠支持如膠黏鍵合、陽極鍵合、共晶鍵合、熱鍵合、玻璃漿料鍵合等多種鍵合工藝 。

· 安全可靠:具備防止用戶直接接觸壓力室以及防止顆粒進入的設計,打造無污染的工藝環境,保障操作人員的安全和產品的質量







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