SB6/8 Gen2 晶圓貼片機
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 SUSS
- 型號 SB6/8 Gen2
- 產地 德國
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/9/5 17:40:49
- 訪問次數 315
聯系方式:謝澤雨 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
1. 產品概述:
SB6/8 Gen2 是一款適用于晶圓鍵合工藝的半自動平臺設備 123。它能夠處理 200 毫米以下各種形狀和類型的襯底和晶圓,是一個適合多種用途和工藝環境的靈活工具。
2. 設備應用:
· MEMS 領域:在微機電系統(MEMS)的封裝及結構塑造中發揮重要作用,有助于制造高性能、高精度的 MEMS 器件。
· LED 領域:用于 LED 封裝及結構塑造,提升 LED 器件的性能和可靠性。
· 先進封裝領域:為先進封裝技術提供支持,如 2.5D 和 3D 集成等,滿足半導體行業對更高集成度和更小尺寸的需求。
3. 設備特點:
· 高度靈活:在鍵合室溫度、鍵合力和空氣壓力的配置上有廣闊的自由度,大大增加了應用的選擇范圍,并且還能調整工藝以適應不斷變化的工藝條件。
· 工藝穩定:可以確保在不同的工藝條件下都能保持穩定的鍵合質量,提高產品的一致性和可靠性。
· 產量高:具備較高的生產效率,能夠滿足從研究開發到批量生產,再到大規模生產的不同需求。
· 高精度對準:與 SUSS 鍵合對準器套裝組合后,能夠進行高精度的預鍵合對準,保證鍵合的精度和準確性。
· 兼容多種材料和工藝:開放的平臺兼容臨時鍵合的所有常見材料系統,除已用于生產的工藝外,還在不斷鑒定更多材料,以最大范圍支持市場上可供選擇的粘材;并且能夠支持如膠黏鍵合、陽極鍵合、共晶鍵合、熱鍵合、玻璃漿料鍵合等多種鍵合工藝 。
· 安全可靠:具備防止用戶直接接觸壓力室以及防止顆粒進入的設計,打造無污染的工藝環境,保障操作人員的安全和產品的質量。