雙腔體脈沖激光沉積系統
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/7/10 14:27:23
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價格區間 | 10萬-50萬 | 應用領域 | 化工,石油,交通,制藥,綜合 |
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腔體尺寸 | 球形腔體,直徑:400 mm | 樣品尺寸 | 1 英寸或 2 英寸向下兼容 |
樣品加熱 | 輻射式加熱 / 電阻式加熱 / 激光加熱 1000 ℃ / 950 ℃ / 1400 ℃ | 靶臺操控 | 6 靶位,1 英寸靶托,公自轉設計 |
抽氣泵組 | 國產: BWVAC油泵,360 l/min KYKY分子泵,600 l/s | 真空測量 | 國產:Reborn電阻電離復合規 |
氣路 | 國產:質量流量計Flowmethod,50 / 100 sccm | 控壓方式 | 手動角閥/漏閥控壓 |
極限真空 | 手動角閥/漏閥控壓 | 極限真空 | 5 x 10-9 mbar |
雙腔體脈沖激光沉積系統(Dual Chamber Pulsed Laser Deposition System)是一種先進的薄膜制備技術,它結合了脈沖激光沉積(PLD)技術和雙腔體設計的優勢。這種系統通常用于在實驗室環境中生長高質量的薄膜材料,廣泛應用于物理、化學、材料科學和工程等領域。
脈沖激光沉積(PLD)是一種物理氣相沉積技術,它利用高能量的脈沖激光束轟擊靶材表面,使靶材物質迅速蒸發、電離并形成等離子體羽輝。這些高能量的離子和原子隨后沉積在基片表面,經過成核和生長過程形成薄膜。PLD具有生長速度快、薄膜成分易于控制、能夠保持靶材的原始結構等優點。
雙腔體設計則進一步提高了PLD系統的靈活性和功能性。該系統通常包含兩個獨立的沉積腔室,每個腔室都可以獨立地進行薄膜生長過程。這種設計允許研究人員在同一臺設備上同時制備不同種類的薄膜,或者在不同的生長條件下進行對比實驗。此外,雙腔體設計還可以減少實驗過程中的污染和交叉污染風險,提高實驗結果的可靠性。
雙腔體脈沖激光沉積系統通常配備有先進的光學系統、激光系統、真空系統和控制系統等組件。光學系統用于精確控制激光束的聚焦和定位,確保激光能夠準確地轟擊靶材表面。激光系統則提供高能量的脈沖激光束,激發靶材物質形成等離子體羽輝。真空系統則用于維持腔室內的高真空環境,防止外界氣體對薄膜生長的干擾。控制系統則負責整個系統的自動化運行和參數調整,確保實驗過程的穩定性和可重復性。
總之,雙腔 體脈沖激光沉積系統是一種高效、靈活且可靠的薄膜制備技術,它在材料科學研究和新材料開發中發揮著重要作用。通過精確控制實驗條件和參數,研究人員可以制備出具有優異性能的新型薄膜材料,為推動科技進步和創新做出重要貢獻。