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TMS-2000 其他設(shè)備晶圓測(cè)試儀
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市晧辰電子科技有限公司
- 品牌 Santec/日本
- 型號(hào) TMS-2000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/4/16 14:57:17
- 訪問(wèn)次數(shù) 212
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價(jià)格區(qū)間 | 50萬(wàn)-80萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
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圣德科 TMS-2000 晶圓測(cè)試儀
產(chǎn)品概述:
Santec 的新系統(tǒng) TMS-2000 為半導(dǎo)體晶圓厚度的高精度亞納米映射帶來(lái)了新的動(dòng)態(tài)。TMS-2000 采用一種新型激光掃描方法,以前從未在業(yè)界用于晶圓映射,為行業(yè)提供了多項(xiàng)優(yōu)勢(shì);對(duì)溫度變化不敏感的精確厚度測(cè)量,一個(gè)系統(tǒng)不僅可以測(cè)量單層硅,還可以測(cè)量碳化硅和氮化鎵等功率半導(dǎo)體,以及SOI等多層晶圓,其成本點(diǎn)對(duì)于在生產(chǎn)中的廣泛部署具有吸引力。隨著半導(dǎo)體器件尺寸的減小,光刻工藝的公差變得更細(xì),提高了晶圓厚度和場(chǎng)地平面度測(cè)量的高精度的重要性。對(duì)于非接觸式亞納米重復(fù)性測(cè)量,業(yè)界一直依賴外差干涉或Fizeau條紋分析系統(tǒng),這些系統(tǒng)在普遍采用方面存在一些缺點(diǎn)。這些目前的解決方案需要正面和背面晶圓照明,對(duì)溫度變化和振動(dòng)敏感,并且復(fù)雜性和成本高。Santec TMS-2000 解決了當(dāng)前解決方案中發(fā)現(xiàn)的所有問(wèn)題。
特征:
精度高:使用干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行高精度測(cè)量(1nm重復(fù)精度)
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)參數(shù):可以分析全局(GFLR、GFLD、GBIR)、站點(diǎn)(SFQR、SFQD、SBIR)、邊緣(ESFQR)
高耐環(huán)境性:由于環(huán)境耐久性,不需要溫度控制或振動(dòng)對(duì)策
緊湊的尺寸:小尺寸,適合多種應(yīng)用
高速:螺旋掃描(高速、高密度)
優(yōu)勢(shì):
晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng),可測(cè)量晶圓的平整度,重復(fù)精度高達(dá)1nm。
測(cè)量準(zhǔn)確,對(duì)溫度變化和振動(dòng)不敏感
亞納米厚度重復(fù)性
具有可定制掃描圖案的完整晶圓映射
單面照明
晶圓與晶圓之間的比較
適用于重?fù)诫s硅以及功率半導(dǎo)體和多層晶圓
測(cè)量符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
與傳統(tǒng)解決方案相比,具有成本優(yōu)勢(shì)
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