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TMS-2000 其他設(shè)備晶圓測(cè)試儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市晧辰電子科技有限公司
  • 品牌 Santec/日本
  • 型號(hào) TMS-2000
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2024/4/16 14:57:17
  • 訪問(wèn)次數(shù) 212

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深圳市嘉惠捷科技有限公司基于對(duì)國(guó)內(nèi)測(cè)試儀器市場(chǎng)具體需求狀況和、國(guó)內(nèi)儀器行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)的掌握,依托國(guó)外穩(wěn)定的貨源渠道。專注于國(guó)內(nèi)電子測(cè)試儀器、通信儀器、微波儀器、高頻儀器、光纖通信儀器等進(jìn)口二手測(cè)試儀器的銷(xiāo)售、租賃、回收、維修、校正等業(yè)務(wù)。
公司現(xiàn)貨供應(yīng)惠普(安捷倫)、泰克、安立、愛(ài)得萬(wàn)、橫河、安騰、力科、馬可尼(IFR)、R&S等世界之頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、無(wú)線綜合測(cè)試儀、邏輯分析儀、阻抗分析儀、信號(hào)源、信號(hào)發(fā)生器、信號(hào)分析儀、中高檔示波器、頻率計(jì)、電子與負(fù)載等電子通用測(cè)試儀器及誤碼儀、眼圖儀、光譜分析儀、光時(shí)域反射儀(OTDR)、可調(diào)諧激光源、光功率計(jì)、光衰減器等光纖通信儀器。 儀器品種繁多,并可提供計(jì)量合格證書(shū)及壹年保修、終身維護(hù)的售后服務(wù)。
我公司大量回收閑置二手儀器儀表設(shè)備,全部現(xiàn)款交易;對(duì)外承接高檔測(cè)試儀器儀表的維修和校正服務(wù)。
經(jīng)營(yíng)范圍:二手測(cè)試儀器的銷(xiāo)售、租賃、維修、檢測(cè)。銷(xiāo)售、維修系列環(huán)境實(shí)驗(yàn)設(shè)備。銷(xiāo)售全新系列品牌測(cè)試儀器。



網(wǎng)絡(luò)分析儀、無(wú)線綜合測(cè)試儀、邏輯分析儀、阻抗分析儀、信號(hào)源、信號(hào)發(fā)生器、信號(hào)分析儀、中高檔示波器

價(jià)格區(qū)間 50萬(wàn)-80萬(wàn) 應(yīng)用領(lǐng)域 電子,綜合

圣德科 TMS-2000 晶圓測(cè)試儀

產(chǎn)品概述:
Santec 的新系統(tǒng) TMS-2000 為半導(dǎo)體晶圓厚度的高精度亞納米映射帶來(lái)了新的動(dòng)態(tài)。TMS-2000 采用一種新型激光掃描方法,以前從未在業(yè)界用于晶圓映射,為行業(yè)提供了多項(xiàng)優(yōu)勢(shì);對(duì)溫度變化不敏感的精確厚度測(cè)量,一個(gè)系統(tǒng)不僅可以測(cè)量單層硅,還可以測(cè)量碳化硅和氮化鎵等功率半導(dǎo)體,以及SOI等多層晶圓,其成本點(diǎn)對(duì)于在生產(chǎn)中的廣泛部署具有吸引力。隨著半導(dǎo)體器件尺寸的減小,光刻工藝的公差變得更細(xì),提高了晶圓厚度和場(chǎng)地平面度測(cè)量的高精度的重要性。對(duì)于非接觸式亞納米重復(fù)性測(cè)量,業(yè)界一直依賴外差干涉或Fizeau條紋分析系統(tǒng),這些系統(tǒng)在普遍采用方面存在一些缺點(diǎn)。這些目前的解決方案需要正面和背面晶圓照明,對(duì)溫度變化和振動(dòng)敏感,并且復(fù)雜性和成本高。Santec TMS-2000 解決了當(dāng)前解決方案中發(fā)現(xiàn)的所有問(wèn)題。
 
特征:
精度高:使用干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行高精度測(cè)量(1nm重復(fù)精度)
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)參數(shù):可以分析全局(GFLR、GFLD、GBIR)、站點(diǎn)(SFQR、SFQD、SBIR)、邊緣(ESFQR)
高耐環(huán)境性:由于環(huán)境耐久性,不需要溫度控制或振動(dòng)對(duì)策
緊湊的尺寸:小尺寸,適合多種應(yīng)用
高速:螺旋掃描(高速、高密度)
 
優(yōu)勢(shì):
晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng),可測(cè)量晶圓的平整度,重復(fù)精度高達(dá)1nm。
測(cè)量準(zhǔn)確,對(duì)溫度變化和振動(dòng)不敏感
亞納米厚度重復(fù)性
具有可定制掃描圖案的完整晶圓映射
單面照明
晶圓與晶圓之間的比較
適用于重?fù)诫s硅以及功率半導(dǎo)體和多層晶圓
測(cè)量符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
與傳統(tǒng)解決方案相比,具有成本優(yōu)勢(shì)




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