規格參數：

1、樣品尺寸：AS-master：8-inch，Up to 200 mm diameter；

2、溫度范圍：AS-master室溫~1450 ℃；

3、升溫速率：AS-master ：0.1 ℃~150 ℃/s ；

4、溫度控制：快速數字PID控制；

5、熱電偶：2個K型熱電偶；

6、低溫高溫計溫度范圍：150℃~1100 ℃；

7、高溫高溫計溫度范圍：400℃~1500 ℃；

8、工藝氣體氣路配質量流量計（MFC）4路：氮氣、氬氣、混合氣體、氧氣；

9、配置分子泵及真空規，真空度達10-6hPa；

10、紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷（低噪音水平，無需壓縮空氣）；

11、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導致的后續使用中加熱不均的問題，保證了良好的重現性及均溫性，即使在后續使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到最初的熱處理效果；

12、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設計，雙層不銹鋼；

冷壁水冷技術優點在于：1、無記憶，2、工藝重復性高，3、冷卻速度快；

13、反應腔室的設計，氣體的進入口設計在wafer的表面，避免在退火過程中冷點的產生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性；

14.安裝條件：Voltage : 3x400V+N+Gr

Power : 75 kW, 90 kW or 105 kW

Water : 2 to 4 bars, pressure drop 1 bar, 30 to 50 l/mn

Compressed air : 6 bars (valve actuation)

Process gas fittings : double ferrule ? or VCR ? (option)