數字式質量流量控制器產品特點

測量質量流量

無需溫度和壓力補償

結構緊湊

精度高

工作壓力高

響應時間快

重復性高

數字式質量流量控制器技術參數

量程范圍：5SCCM-1500SLPM

精度：±1%滿量程

量程比：50：1

重復性：<0.2%讀數

操作溫度：-10~50℃

泄露率：< 2 x 10-9mbar l/s He

預熱時間：標準30min

壓力等級：3MPa;10MPa

接液材質：316L

密封材質：標準Viton，可選EPDM、Kalrez

防護等級：IP40

供電電源：+15~24VDC

電流：70mA

模擬量輸出信號：0-5VDC；4-20mA；0-10VDC

數字輸出信號：無

電氣接口：標準DB9 M

過程接口尺寸：可選

數字式質量流量控制器訂貨參數

氣體種類

量程范圍（標準狀態下量程）

使用壓力

入口壓力

使用溫度

精度要求

輸出信號

過程接口尺寸