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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>光學薄膜測量設備>日本 Toho FLX-2320系列 薄膜應力測試儀

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日本 Toho FLX-2320系列 薄膜應力測試儀

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京中科復華科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 日本 Toho FLX-2320系列
  • 產地 日本
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/4/3 8:03:24
  • 訪問次數 394

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領域和微納米科學領域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供的半導體設備儀器和微納米科學儀器,擁有一支經驗豐富、技術過硬的技術團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務。   未來公司將不斷和引進在微納米科學領域中起重要作用的新儀器和新產品,同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業在廣范圍、高層次上提供服務。 

納米圖形發生器,離子束刻蝕/反應離子刻蝕/感應耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機、去膠設備等

技術參數:

Toho FLX-2320-S薄膜應力計精確測量多種襯底材料、金屬和電介質等薄膜應力。

 

主要特點

       ◆雙光源掃描(可見光激光源及不可見光激光源),系統可自動選擇適合的匹配之激光源; 
       ◆系統內置升溫、降溫模擬系統,便于量測不同溫度下薄膜的應力,溫度調節范圍為-65℃至500℃; 
       ◆自帶常用材料的彈性系數數據庫,并可根據客戶需要添加新型材料相關信息至數據庫,便于新材料研究; 
       ◆形象的軟件分析功能,用于不同測量記錄之間的比較,且測量記錄可導出成Excel等格式的文檔; 
       ◆具有薄膜應力3D繪圖功能。

 

用戶界面:

WINDOWS OS易懂操作界面。

另搭載豐富的基板材料數據庫。自動保存測量數據等方便性能。

每個用戶可分別設定訪問權限。使用自帶軟件實現簡單卻性能高,簡單測量




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