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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>其它薄膜沉積設備>ACU20FDH-LH 沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計

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ACU20FDH-LH 沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京精量科技有限公司
  • 品牌 Accu
  • 型號 ACU20FDH-LH
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/10/31 10:57:55
  • 訪問次數 674

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      ACCU(中文譯名精量,即北京精量科技有限公司)主要從事高精度壓力、流體介質的測量儀器、儀表、控制器及流量控制系統的研發、生產、銷售和服務。

      ACCU在專業技術領域已沉淀10余年。掌握了三大與流體流量相關的應用原理:熱式、差壓、科里奧利(科氏力),并持有多項研發著作權,是自動化控制系統集成商和工業自動化儀表的優質供應商。公司具有強大的技術研發實力,通過與國內高校、研究院所之間的緊密合作,對國外技術進行引進、消化和再創新,使企業始終保持著與先進技術同步。

      ACCU堅持以技術研發作為公司發展的基礎,將主動性技術創新與需求性研發相結合,為客戶提供氣體、液體、臨界流體的流量及壓力的測量及控制提供專業化服務;同時,我們設立有專門的研發定制部門以滿足部分客戶“小批量非標工況“等個性化定制需求。

     ACCU將持續致力于為用戶提供性能優異高效、質量穩定可靠的產品和專業優質的服務,把“為客戶解決問題”作為核心競爭力。

液體、氣體質量流量計;液體、氣體質量流量控制器 MFC;科里奧利(科氏)流量計/流量控制器;單閥/雙閥壓力控制器

氣體滿量程范圍 2SCCM~300SLM 最大工作壓力 3MPa/10MPa
是否帶顯示 帶顯示屏

一、產品概述沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計  

u 可快速精確測量高溫氣體的體積流量/質量流量

u 采用定制的高速比例控制閥對介質體積流量/質量流量進行精確控制

u 超大可觸顯示屏,操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數字通訊

u 內部無可移動組件和熱元件,通過抗振動測試,對安裝方向不敏感

u 采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運動

u 提供用戶支持,包括技術咨詢、快捷的設備校準服務和有條件的終身質保。

二、產品應用:

-- 已廣泛應用于沉積工藝領域,如陶瓷工藝、半導體、光纖等行業使用高溫氣體的沉積設備。

-- 多變量測量以及50:1量程可調比,使得僅用一臺熱式高溫分體氣體質量流量控制器及流量計便可取代多臺設備的功效。

-- 精度0.5%FS、重復性0.5%及不到200毫秒的控制響應時間,確保高溫的過程氣體可以流暢的工作。

三、技術參數沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計  


技 術

指 標

質量流量控制器

質量流量計

量程范圍

2SCCM~300SLM

精度

(調零后標準條件下)

±0.5%F·S(滿量程)

重復精度

±0.5%F·S

流量控制比

/測量范圍

2%~100%F·S/501

1%~100%F·S/1001

工作溫度

過流部分:(90~150℃),控制部分:0~70

漏率

2×10-9 Pa m3/S

機 械

部 件

最大工作壓力

3 MPa / 10MPa

密封材質

氟橡膠、全氟醚、金屬密封

防護等級

IP40

底座材質

不銹鋼

氣路接頭

φ6φ8,φ10,φ12,卡套、VCR

電 氣

   性 能

單色LCD顯示屏

同時顯示實時流量、設定流量

數字通訊

可選:RS232/485,Modbus協議、Profibus協議、DeviceNet協議

模擬輸入輸出信號

0~5VDC/4~20mA

電信號接口

B9, RJ11, 5.5×2.1電源快插

供電電壓

±15VDC24VDC
















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