Zygo NewView  9000 3D 光學輪廓儀提供了強大的非接觸式光學表面分析的多功能

性。它可以容易和快速地測量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、無需樣品制備的。

系統的核心是 ZYGO 相干掃描干涉技術(CSI)，提供了所有放大倍數下亞納米的精度，并且能夠快速測試各種樣品表面。

主要特點:

•高靈敏度 1.9 MP 傳感器

•快速非接觸式測量

•3D 表面可視化

亞埃級精度

•超精密&計量能力

•增強光學成像

•自動零件定位

性能，價值和多樣性

靈活性是 ZYGO NewView 產品的標志。NewView 9000 光學輪廓儀提供了多樣化的應用，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜，臺階高度和其他。

所有NewView 9000 輪廓儀都配備一個3 種變焦塔臺，包含量身定做的分立變焦光學系統。樣品臺配置是手動到編碼的自動化選擇。

所有 NewView 9000 輪廓儀系統都提供高精度測量，易于使用和快速測量，價格吸引人， 在通用性和應用價值方面使其成為 3D 光學輪廓儀的理想選擇。

以下差異化特性實現用戶計量更好、更快和更可靠:

• 大面積 1.9 MP 傳感器：高靈敏度，在單次測量中獲取更多的信息

• 高速測量：只需幾秒時間，優化的測試能力和程序控制

• 自動零件聚焦和定位：縮短用戶培訓時間，更快獲取數據結果

• 重復性特征：優異的測量精度和可重復性，為高要求的生產應用提供服務

• 抗震測量： SureScan 抗震技術和內置抗震技術使得在震動環境下也可實現高質量的計量

• SmartPSI 技術：對超光滑表面進行快速分析測量

• 2D 和 3D 的相關性：測量結果符合 ISO 25178 和 ISO 4287 標準。

• Mx 軟件：實現儀器控制、分析和測量自動化

分析&控制軟件

Zygo NewView 9000 輪廓儀使用 ZYGO Mx 軟件，支持完整系統控制和數據分析，包括豐富的交互式 3D 繪圖，量化的形貌信息，直觀的測量導航以及內置的 SPC 統計，質量控制圖，通過/失敗限制設置。

•交互式 3D 繪圖-縮放，平移，旋轉，并實時更新結果。

•靈活分析——廣泛的定量分析結果，包括數據視圖和過濾器。

•直觀的用戶界面，易于學習和使用的流程界面設計。

內置 SPC 分析工具，跟蹤結果，監控合格和不合格的標準，跟蹤處理數據。

還有滿足額外特殊應用需求的應用程序模塊，如有透明薄膜的樣品測量，2D 圖像分析等。

靈活的配置

NewView 9000 輪廓儀的工作區域功能開放，界面條理清晰，使測量設置和改變簡單&快速。系統可以配備多種樣品平臺，從手動 X/Y 和傾斜俯仰到 150 毫米自動化調整和 4 度傾斜。儀器的抗震隔離系統和緊湊的尺寸，使它非常適合于臺式安裝，使用可選的工作臺使其成為生產線理想的選擇。